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J-GLOBAL ID：201702291054592064   整理番号：17A1041397

導電性皮膜としての透明酸化物皮膜-インジウム亜鉛酸化物:レビュー

TRANSPARENT COATING OXIDE - INDIUM ZINC OXIDE AS CONDUCTIVE COATING: A REVIEW

著者 (7件)： EDYNOOR O. (Universiti Teknikal Malaysia Melaka, Melaka, MYS) ,  EDYNOOR O. (Tokushima Univ., Tokushima, JPN) ,  WARIKH A.R.M. (Universiti Teknikal Malaysia Melaka, Melaka, MYS) ,  WARIKH A.R.M. (Tokushima Univ., Tokushima, JPN) ,  MORIGA T. (Tokushima Univ., Tokushima, JPN) ,  MURAI K. (Tokushima Univ., Tokushima, JPN) ,  MANAF M.E.A. (Tokushima Univ., Tokushima, JPN)
資料名： Reviews on Advanced Materials Science (Web)  (Reviews on Advanced Materials Science (Web))
巻： 49  号： 2  ページ： 150-157 (WEB ONLY)  発行年： 2017年 
JST資料番号： U7005A  ISSN： 1605-8127  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー  発行国： ロシア (RUS)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： このレビューでは,インジウムドープ酸化亜鉛(IZO)に重点を置いて,透明導電性酸化物(TOC)を概説した。TCOは,半導体,ソーラーデバイス,電子分野を中心に,年々高速化していた。IZO皮膜を調製するために,ディップコーティング,ゾル-ゲル,マグネトロンスパッタリング,熱蒸発および原子層堆積のような使用可能な多くの方法があった。良好な導電性,400~900nmの高い可視透過率,大きな仕事関数,優れた表面平滑性,および低い堆積温度のために,透明電極にとってIZOは大きな注目を集めていた。ガラス基板上のIZO皮膜について多くの研究が行われているが,ポリマーや天然繊維などの低温度処理の基板についてはまだ研究が少なかった。IZOの所望の導電性や光学特性を達成するためには,皮膜厚さ,アニール温度やサイクル数などのパラメータを考慮する必要があった。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： 化合物半導体 ,  *酸化物 ,  *透明導電膜 ,  *薄膜 ,  *酸化亜鉛 ,  インジウム ,  ドーピング ,  ゾル-ゲル法 ,  マグネトロンスパッタリング ,  電気加熱 ,  蒸発 ,  化学蒸着 ,  光透過 ,  透過率 ,  仕事関数 ,  平滑度 ,  低温生成 ,  光学的性質 ,  膜厚 ,  プロセスパラメータ ,  導電性 ,  電気的性質
準シソーラス用語： ディップコーティング法 ,  原子層堆積 ,  焼きなまし温度 ,  *透明電導性酸化物

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (6件)： 導電性 ,  皮膜 ,  酸化物皮膜 ,  インジウム ,  亜鉛酸化物 ,  レビュー