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J-GLOBAL ID:201702291204514952   整理番号:17A1357574

レーザダイ伝達と毛細管は自己整合組み合わせたハイブリッドマイクロアセンブリ【Powered by NICT】

Hybrid microassembly combining laser die transfer and capillary self-alignment
著者 (4件):
資料名:
巻: 2017  号: MARSS  ページ: 1-4  発行年: 2017年 
JST資料番号: W2441A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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レーザダイ移動法はマイクロ組立におけるマイクロチップの高速輸送のための効率的な解決策を提供する。キャピラリー自己整合した受容器部位上にマイクロチップの並列高精度アラインメントを達成することができた。本論文では,新しいハイブリッドマイクロアセンブリ戦略,レーザダイ伝達と毛細管自己整合技術を提案した。レーザダイ移動法はマイクロチップの粗位置決めに使用し,キャピラリー自己集合技術を適用して高精度アラインメントを達成した。低電力と低コストレーザ素子はレーザダイ移動過程で調べ,親水性/超疎水性パターン化表面を作製し,受容体部位として機能した。微視的液滴はキャピラリー自己整合のためのメディアとして導入した。結果はマイクロチップは,対応する受容体部位と放出され,自己整合選択的にできることを示した。提案した方法は,小型デバイスの構築におけるハイスループット,高精度と全自動組立のための有用である。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】
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機械の組立 
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