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J-GLOBAL ID：201702291288538903   整理番号：17A0511028

ウェット&ドライコーティング2017 分光干渉法を用いた膜厚分布測定装置

著者 (1件)： 近藤孝司 (JFEテクノリサーチ)
資料名： コンバーテック  (Convertech)
巻： 45  号： 4  ページ： 35-37  発行年： 2017年04月15日 
JST資料番号： Y0873A  ISSN： 0911-2316  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 分光干渉法の原理を利用し,従来の点分光器に代わりにイメージング分光器を用いた膜厚分布想定装置FiDiCaについて,その構成,特徴,測定事例を紹介した。本装置は,1ライン1000点以上の膜厚データを1秒間に5~20ラインを測定可能とし,高速かつ高解像度で膜厚の二次元分布を測定することができる。測定事例として,レーザプリンタ用OHPシートの塗工方法が異なるカラー用とモノクロ用の膜厚分布を図示した。また,小型化による可搬性,リアルタイム測定によるインライン測定も可能とした。

シソーラス用語： *厚み測定 ,  膜厚 ,  分布 ,  ホログラフィック格子 ,  *分光計 ,  光干渉法 ,  撮像 ,  画像処理 ,  高分解能 ,  スペクトロスコピー ,  小型化 ,  可搬型 ,  計測 ,  インライン処理
準シソーラス用語： イメージング分光計 ,  リアルタイム計測 ,  二次元分光 ,  高速画像処理 ,  分光イメージング ,  *膜厚測定 ,  膜厚分布

分類 (1件)： 干渉測定と干渉計  (BD07070G)

引用文献 (5件)：

• 守屋進:イメージング分光器「ImSpector」基本特性とその応用,光アライアンス,10,11,pp.4-9 (1999)
• 小檜山光信:光学薄膜の基礎理論,オプトロニクス社(2002)
• 近藤孝司:JFE技報,No.15(2007)
• 近藤孝司、守屋進:第18回センシングフォーラム,pp.13-18(2001)
• アイザック・ニュートン:光学,岩波書店(1983)

タイトルに関連する用語 (5件)： コーティング ,  分光 ,  干渉法 ,  膜厚分布 ,  測定装置