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J-GLOBAL ID：201702291346212582   整理番号：17A1888765

原子間力顕微鏡ナノ蒸着加工温度シミュレーション【JST・京大機械翻訳】

Simulation of Temperature During Nano-Deposition Fabrication with Atomic Force Microscope

著者 (4件)： Liu Zenglei (南陽理工学院電子与電气工程学院,南陽,473004) ,  Gao Ailian (南陽理工学院電子与電气工程学院,南陽,473004) ,  Yuan Shuai (沈陽建筑大学信息与控制工程学院,沈陽,110168) ,  Jiao Niandong (中国科学院沈陽自動化研究所,沈陽,110016)
資料名： Nami Jishu Yujingmi Gongcheng  (Nami Jishu Yujingmi Gongcheng)
巻： 15  号： 4  ページ： 267-272  発行年： 2017年 
JST資料番号： C2959A  ISSN： 1672-6030  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 原子間力顕微鏡(atomic force microscope、AFM)のナノ堆積加工は重要なナノ溶接手段であり、その加工メカニズムは電界蒸発と熱蒸発による二種類の可能性がある。AFM堆積加工のメカニズムを明らかにするために,本論文では,AFMによるナノ堆積の加工過程における温度変化を研究し,加工電流の波形と空気媒体が堆積に与える影響を分析し,これに基づいて過渡電流と定常電流による温度変化を研究した。シミュレーションによると、沈積中の温度は確かに上昇したが、熱蒸発を引き起こす程度には至らなかった。AFMによるナノ堆積加工は場蒸発に基づく原理であることを証明した。Data from Wanfang. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 媒質 ,  温度変動 ,  *蒸着 ,  蒸発 ,  電流 ,  *原子間力顕微鏡 ,  電界蒸発 ,  溶接
準シソーラス用語： 過渡電流 ,  *熱シミュレーション , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： atomic force microscope ,  nano-welding ,  nano-fabrication ,  temperature simulation

分類 (2件)： 電子顕微鏡,イオン顕微鏡  (BD02050B) ,  顕微鏡法  (BK01040E)

タイトルに関連する用語 (3件)： 原子間力顕微鏡 ,  蒸着 ,  温度シミュレーション