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J-GLOBAL ID:201702291363969760   整理番号:17A0639878

ポリマー光導波路-広帯域・高密度オンボード光配線の実現へ-

著者 (1件):
資料名:
巻: 55  号:ページ: 10-17  発行年: 2017年05月20日 
JST資料番号: S0624A  ISSN: 0913-7289  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 解説  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
抄録/ポイント:
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ポリマー光導波路を利用することで,広帯域で高密度の光配線が実現できる可能性がある。本論文では,広帯域・高密度光配線用のポリマー光導波路の作製法について紹介した。新規ポリマー光導波路作製法として「モスキート法」を開発した。モスキート法は,面内に限らず,3次元の自由な光配線を可能とし,高集積光回路を実現できる。モスキート法の原理を述べた。リソグラフィ法とは異なり,フォトマスクを使用すること無く,光導波路での光配線パターンを容易に実現できる手法であった。モスキート法による光導波路作製工程,作製された光導波路の光学特性や光導波路回路などを説明した。マルチモードやシングルモード光導波路回路を示し,オンボード光配線の実現に向けての開発を説明した。開発したモスキート法は,フォトマスクを使用せずにマルチモード導波路のみならずシングルモード導波路の作製も可能とする簡便な光導波路作製法である。
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分類 (2件):
分類
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光導波路,光ファイバ,繊維光学  ,  光集積回路,集積光学 
引用文献 (8件):
タイトルに関連する用語 (4件):
タイトルに関連する用語
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