文献

J-GLOBAL ID：201702291602070651   整理番号：17A1399119

中空コアフォトニック結晶ファイバ中の深紫外プラズマ発光【Powered by NICT】

Deep-UV plasma emission in hollow-core photonic crystal fiber

著者 (6件)： Amrani Foued (GPPMM group, Xlim Research Institute, UMR CNRS 7252, University of Limoges, France) ,  Delahaye Frederic (GPPMM group, Xlim Research Institute, UMR CNRS 7252, University of Limoges, France) ,  Debord Benoit (GPPMM group, Xlim Research Institute, UMR CNRS 7252, University of Limoges, France) ,  Alves Luis Lemos (Instituto de Plasmas e Fusao Nuclear, Instituto Superior Te ́cnico, Universidade de Lisboa, Portugal) ,  Gerome Frederic (GPPMM group, Xlim Research Institute, UMR CNRS 7252, University of Limoges, France) ,  Benabid Fetah (GPPMM group, Xlim Research Institute, UMR CNRS 7252, University of Limoges, France)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： ICTON  ページ： 1-4  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,新たなプラズマフォトニクス分野の結果見直し後,マイクロ波誘導プラズマコアフォトニック結晶ファイバを用いた可変同調および小型化UV放射源の開発のための混合ガスを用いた深紫外(DUV)領域で強いプラズマ発光について報告した。DUVにおけるいくつかのスペクトル線を,Ar N_2O_2プラズマにより作製し,このガス混合物のガス比を変えるだけで調整した。添加では,プレーナ技術はワットレベルの低いマイクロ波電力とのこのようなプラズマを効率的に維持するためのコンパクトな解決のための特別なリングexcitatorを開発した。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 紫外線 ,  プレーナ技術 ,  混合気体 ,  スペクトル ,  小型化 ,  *プラズマ
準シソーラス用語： マイクロ波電力 ,  可変同調 ,  マイクロ波プラズマ ,  *プラズマ発光 ,  *深紫外線 ,  *フォトニック結晶ファイバ , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (4件)： 中空コア ,  フォトニック結晶ファイバ ,  深紫外 ,  プラズマ発光