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J-GLOBAL ID：201702292013471412   整理番号：17A0446141

微細構造,鉛フリーしたBCZTセラミック薄膜の強誘電性と機械的性質に及ぼす蒸着温度の影響【Powered by NICT】

Effect of deposition temperature on the microstructure, ferroelectric and mechanical properties of lead free BCZT ceramic thin films

著者 (9件)： Prabahar K. (Advanced Magnetics Group, Defence Metallurgical Research Laboratory, Kanchanbagh, Hyderabad 500058 India) ,  Prabahar K. (Department of Materials Science and Metallurgical Engineering, Indian Institute of Technology, Hyderabad, Telangana 502205 India) ,  Ranjith R. (Department of Materials Science and Metallurgical Engineering, Indian Institute of Technology, Hyderabad, Telangana 502205 India) ,  Srinivas A. (Advanced Magnetics Group, Defence Metallurgical Research Laboratory, Kanchanbagh, Hyderabad 500058 India) ,  Kamat S.V. (Advanced Magnetics Group, Defence Metallurgical Research Laboratory, Kanchanbagh, Hyderabad 500058 India) ,  Mallesham B. (Department of Materials Science and Metallurgical Engineering, Indian Institute of Technology, Hyderabad, Telangana 502205 India) ,  Niranjani V.L. (Advanced Magnetics Group, Defence Metallurgical Research Laboratory, Kanchanbagh, Hyderabad 500058 India) ,  Praveen J. Paul (School of Engineering Science and Technology, Hyderabad Central University, Gachibowli, Hyderabad, India) ,  Das Dibakar (School of Engineering Science and Technology, Hyderabad Central University, Gachibowli, Hyderabad, India)
資料名： Ceramics International  (Ceramics International)
巻： 43  号： 6  ページ： 5356-5361  発行年： 2017年 
JST資料番号： H0705A  ISSN： 0272-8842  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 0.5[Ba_0 7Ca_0 3TiO_3] 0.5[Ba(Zr_0 2Ti_0)O_3](BCZT)セラミックスの薄膜はBCZTセラミックターゲットを用いたパルスレーザ蒸着により白金化Si基板上に成長させた。結晶構造,形態,BCZT薄膜の強誘電性と機械的性質は,異なる堆積温度の関数として研究した:600%,650%および700°Cであった。XRD研究は,すべてのBCZT膜の正方晶構造の結晶化を確認し,これらの膜の結晶性は堆積温度の上昇とともに増加する傾向があった。FESEM分析は,柱状晶の一様な微細構造,特により高い堆積温度を明らかにした。反対に分極した状態とスイッチング挙動と暗と明の両強誘電分域の存在は,PFM画像で明白であった。硬さと弾性率のような推定強誘電分極値と機械的性質は堆積温度に対して増加傾向を示した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 結晶度 ,  白金 ,  強誘電分域 ,  X線回折 ,  *強誘電性 ,  正方晶系 ,  柱状晶 ,  結晶構造 ,  *機械的性質 ,  硬度 ,  パルスレーザ蒸着 ,  強誘電分極 ,  電界放出型走査電子顕微鏡 ,  シリコンウエハ ,  *蒸着温度 ,  *性質

著者キーワード (4件)： したBCZT薄膜 ,  鉛フリー圧電 ,  圧電力顕微鏡 ,  ナノインデンテーション

分類 (2件)： セラミック・磁器の性質  (YC03030G) ,  酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (6件)： 微細構造 ,  鉛フリー ,  セラミック薄膜 ,  強誘電性 ,  機械的性質 ,  蒸着温度