文献

J-GLOBAL ID：201702292216120327   整理番号：17A0191138

窒化ケイ素上の溶液ベースの光パターニングされた金膜形成

Solution-Based Photo-Patterned Gold Film Formation on Silicon Nitride

著者 (5件)： BANDARA Y. M. Nuwan D. Y. (Univ. Rhode Island, Rhode Island, USA) ,  KARAWDENIYA Buddini Iroshika (Univ. Rhode Island, Rhode Island, USA) ,  WHELAN Julie C. (Univ. Rhode Island, Rhode Island, USA) ,  GINSBERG Lucas D. S. (Univ. Rhode Island, Rhode Island, USA) ,  DWYER Jason R. (Univ. Rhode Island, Rhode Island, USA)
資料名： ACS Applied Materials & Interfaces  (ACS Applied Materials & Interfaces)
巻： 8  号： 51  ページ： 34964-34969  発行年： 2016年12月28日 
JST資料番号： W2329A  ISSN： 1944-8244  CODEN： AAMICK  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 溶液ベースの方法を開発して,ケイ素リッチSiN_x薄膜上に空間的にパターニングされた金膜を形成した。このアプローチは無電解メッキの利点を利用している。空間選択性を,超音波励起や他の機械的破壊操作を伴うことなく達成した。SiN_xへの有機単分子層の光化学ヒドロシリル化結合は柔軟で,特に空間パターニングを用いたSiN_xの表面官能化への経路に適する。テンプレート単分子層は,仮想のSiN_xを保護する永久的なまたは除去可能な被膜として作用する。この単分子層の表面官能基を容易に調節する能力は,単一パターニングされた金属膜形成アプローチの展望を大きく拡張する。

シソーラス用語： *窒化ケイ素 ,  *パターン形成 ,  *金属薄膜 ,  金 ,  菌類 ,  ヒドロシリル化 ,  基 ,  官能化 ,  型枠 ,  板 ,  単分子層 ,  *金膜 ,  官能基 ,  テンプレート【型板】 ,  表面機能化 ,  微生物
準シソーラス用語： 表面官能化

分類 (1件)： 金属の結晶成長  (BK13030M)

タイトルに関連する用語 (4件)： 窒化ケイ素 ,  溶液 ,  パターニング ,  金膜