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J-GLOBAL ID：201702297460352343   整理番号：17A0014016

Ca(Mg_1/3Ta_2/3)O₃誘電体薄膜:調製,構造,機械及び誘電特性

Ca(Mg1/3Ta2/3)O3 dielectric thin films: preparation, structure, mechanical and dielectric properties

著者 (8件)： Li Runrun (State Key Laboratory of Advanced Technology for Materials Synthesis and Processing, School of Materials Science and Engineering, Wuhan University of Technology, Wuhan, People’s Republic of China) ,  Li Runrun (National Key Laboratory of Green Building Materials, China Building Materials Academy, Beijing, People’s Republic of China) ,  Zhou Jing (State Key Laboratory of Advanced Technology for Materials Synthesis and Processing, School of Materials Science and Engineering, Wuhan University of Technology, Wuhan, People’s Republic of China) ,  Chen Wen (State Key Laboratory of Advanced Technology for Materials Synthesis and Processing, School of Materials Science and Engineering, Wuhan University of Technology, Wuhan, People’s Republic of China) ,  Sun Huajun (State Key Laboratory of Advanced Technology for Materials Synthesis and Processing, School of Materials Science and Engineering, Wuhan University of Technology, Wuhan, People’s Republic of China) ,  Bao Yiwang (National Key Laboratory of Green Building Materials, China Building Materials Academy, Beijing, People’s Republic of China) ,  Zhang Qi (State Key Laboratory of Advanced Technology for Materials Synthesis and Processing, School of Materials Science and Engineering, Wuhan University of Technology, Wuhan, People’s Republic of China) ,  Zhang Qi (School of Aerospace, Transport and Manufacturing, Cranfield University, Cranfield, Bedfordshire, UK)
資料名： Journal of Materials Science. Materials in Electronics  (Journal of Materials Science. Materials in Electronics)
巻： 27  号： 9  ページ： 9391-9397  発行年： 2016年09月 
JST資料番号： W0003A  ISSN： 0957-4522  CODEN： JMTSAS  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： Ca(Mg_1/3Ta_2/3)O₃(CMT)誘電体膜の結晶化度,粒子サイズ,機械及び誘電特性に及ぼすアニーリング温度の影響を系統的に研究した。CMT薄膜を水溶液-ゲル技術によって作成し,それは,均一で滑らかで緻密なモフォロジーを示した。最適な熱分解温度及び時間は,それぞれ,550°C及び330秒であった。650から800°CでアニーリングしたCMT膜は,全て単一のペロブスカイト相を示し,結晶化度は,アニーリング温度が高くなると増加するが,900°Cでアニーリングした膜では2次相が観察される。硬度及び減少弾性係数は,アニーリング温度を増加することによって効果的に向上し,このことは,結晶化度及び緻密化の改善と相関する可能性がある。高温でアニーリングしたCMT膜では,より高い弾性回復が観察された。このことは,この膜の困難でない回復を示唆する。また,より高い温度でアニーリングした試料では,誘電率が改善されることを見出した。このことは,将来のマイクロ波通信エレクトロニクスにおけるより高い性能を可能にする可能性がある。Copyright 2016 Springer Science+Business Media New York Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *誘電体薄膜 ,  調製 ,  構造特性 ,  *機械的性質 ,  *誘電性 ,  酸化物 ,  カルシウム化合物 ,  マグネシウム化合物 ,  タンタル化合物 ,  熱重量分析 ,  示差走査熱量測定 ,  X線回折 ,  透過型電子顕微鏡 ,  走査電子顕微鏡 ,  原子間力顕微鏡 ,  誘電率 ,  誘電損失 ,  周波数依存性 ,  結晶度 ,  粒度 ,  アニーリング【現象】 ,  モルフォロジー ,  表面構造 ,  熱分解 ,  ペロブスカイト型結晶 ,  硬度 ,  弾性係数 ,  緻密化
準シソーラス用語： 結晶化度 ,  表面モルフォロジー ,  粒子サイズ

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (5件)： Ca ,  O3 ,  誘電体薄膜 ,  調製 ,  誘電特性