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J-GLOBAL ID：201702298397321728   整理番号：17A0267856

接着力原理に基づく薄膜/ベースとマイクロカンチレバーの粗面間の接触解析【JST・京大機械翻訳】

Contact Analysis between Film/Substract and Micro Cantilever Rough Surface Based on Cohesion Principle

著者 (2件)： Huang Shuwei (School of Mechanical Engineering and Automation,Fuzhou University) ,  Huang Jianmeng (School of Mechanical Engineering and Automation,Fuzhou University)
資料名： Yibiao Jishu yu Chuanganqi  (Yibiao Jishu yu Chuanganqi)
号： 9  ページ： 5-9,36  発行年： 2016年 
JST資料番号： C2449A  ISSN： 1002-1841  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 周波電気機械スイッチ(RF MEMS SWITCH)の安定性と信頼性を向上させるために,接触器の電気機械スイッチの接触特性をさらに深く理解した。接着原理に基づき,ABAQUS/薄膜と薄膜の間の接触-分離モデルを,ABAQUS 6.13を用いて確立した。膜/基板の接触力,接触変位,破壊変形などの変化則を動的解析により解析した。結果は以下を示す。単次加卸載/過程プロセスにおいて,薄膜/ベースととの間には明らかな接触-分離現象が存在し,大きな衝撃力に伴い,多くの激しい衝撃がシステムの安定接触性能に悪影響を及ぼす。接触過程において、薄膜は大部分の外部負荷を受け、受ける の等価効果値は基底が受ける受けるの等価効果値より大きい。界面における層損傷の法則は明らかな階段状を示し、しかもその突然変異点は衝撃力の影響を受ける。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *薄膜 ,  電気機械 ,  衝撃 ,  接触器 ,  動的解析 ,  スイッチ ,  *接着 ,  *粗面 ,  MEMS ,  *付着力 ,  界面
準シソーラス用語： 衝撃力 ,  接触力 ,  ABAQUS ,  *マイクロカンチレバー , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： film/substrate ,  rough surface ,  contact-separation ,  cohesive zone model ,  RF mems switch

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (6件)： 接着力 ,  原理 ,  薄膜 ,  マイクロカンチレバー ,  粗面 ,  接触解析