特許

J-GLOBAL ID：201703000075294008

凹部内の結晶成長方法および処理装置

発明者： 千葉 洋一郎 ,  鈴木 大介 ,  長谷部 一秀
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 高山 宏志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-043022
公開番号（公開出願番号）：特開2017-162851
出願日： 2016年03月07日
公開日（公表日）： 2017年09月14日
要約：

【課題】絶縁膜に形成された凹部内に選択的に固相エピタキシャル成長によって結晶を成長させることができる凹部内の結晶成長方法およびそれに用いられる処理装置を提供する。【解決手段】絶縁膜201の表面に、凹部を完全に埋め込まない程度に第1の膜203を成膜した後、エッチングして凹部202内の底部のみに第1の膜を残存させ、アニールにより底部に残存する第1の膜203を結晶性層204とし、凹部202を完全に埋め込まない程度に第2の膜205を成膜し、アニールにより第2の膜205を凹部202内の底部から固相エピタキシャル成長により結晶成長させ、エピタキシャル結晶層206を形成し、残存する前記第2の膜をエッチングガスによりエッチングして除去する。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

表面に凹部が形成された絶縁膜を有する被処理基板に対し、前記凹部内に結晶を成長させる、凹部内の結晶成長方法であって、 (a)前記絶縁膜の表面に、前記凹部を完全に埋め込まない程度に第1の膜を成膜する工程と、 (b)次いで、前記第1の膜をエッチングガスによりエッチングして、前記凹部内の底部のみに前記第1の膜を残存させる工程と、 (c)次いで、前記被処理基板をアニールして、前記凹部内の底部に残存する第1の膜を結晶性層とする工程と、 (d)次いで、前記絶縁膜の表面および前記結晶性層の表面に、前記凹部を完全に埋め込まない程度に第2の膜を成膜する工程と、 (e)次いで、前記被処理基板をアニールして、前記第2の膜を前記凹部内の底部から固相エピタキシャル成長により結晶成長させ、エピタキシャル結晶層を形成する工程と、 (f)次いで、残存する前記第2の膜をエッチングガスによりエッチングして除去する工程と を有することを特徴とする凹部内の結晶成長方法。

IPC (8件)：

H01L 21/205 ,  H01L 21/306 ,  H01L 21/20 ,  H01L 21/285 ,  C23C 16/04 ,  C23C 16/455 ,  C30B 29/06 ,  C30B 1/04

FI (8件)：

H01L21/205 ,  H01L21/302 301S ,  H01L21/20 ,  H01L21/285 C ,  C23C16/04 ,  C23C16/455 ,  C30B29/06 Z ,  C30B1/04

Fターム (96件)：

4G077AA02 ,  4G077BA04 ,  4G077CA04 ,  4G077CA09 ,  4G077ED04 ,  4G077ED06 ,  4G077HA05 ,  4G077JA06 ,  4G077JB07 ,  4K030AA11 ,  4K030BA09 ,  4K030BA29 ,  4K030BB12 ,  4K030BB14 ,  4K030CA04 ,  4K030CA12 ,  4K030DA08 ,  4K030DA09 ,  4K030EA03 ,  4K030FA10 ,  4K030GA05 ,  4K030JA10 ,  4K030KA23 ,  4K030KA41 ,  4K030LA15 ,  4M104BB01 ,  4M104BB36 ,  4M104BB37 ,  4M104DD07 ,  4M104DD16 ,  4M104DD18 ,  4M104DD43 ,  4M104DD44 ,  4M104DD45 ,  4M104DD65 ,  4M104DD78 ,  5F004BA01 ,  5F004BB19 ,  5F004BB26 ,  5F004BD04 ,  5F004DA00 ,  5F004DA04 ,  5F004DA29 ,  5F004DB01 ,  5F004DB30 ,  5F045AA06 ,  5F045AB02 ,  5F045AB04 ,  5F045AB05 ,  5F045AC01 ,  5F045AC03 ,  5F045AC07 ,  5F045AC08 ,  5F045AC13 ,  5F045AC19 ,  5F045AD07 ,  5F045AD08 ,  5F045AD09 ,  5F045AD10 ,  5F045AD11 ,  5F045AE19 ,  5F045AE21 ,  5F045AF02 ,  5F045AF03 ,  5F045AF08 ,  5F045DP19 ,  5F045DP28 ,  5F045DQ05 ,  5F045EC02 ,  5F045EF02 ,  5F045EF09 ,  5F045EK06 ,  5F045HA16 ,  5F152AA12 ,  5F152CC02 ,  5F152CC06 ,  5F152CC08 ,  5F152CD13 ,  5F152CD14 ,  5F152CD23 ,  5F152CD25 ,  5F152CE05 ,  5F152CE06 ,  5F152CE12 ,  5F152CE24 ,  5F152CE26 ,  5F152CE32 ,  5F152CE38 ,  5F152CG10 ,  5F152CG13 ,  5F152EE13 ,  5F152EE15 ,  5F152EE16 ,  5F152FF22 ,  5F152FF29 ,  5F152FF30