物理量検出デバイス、物理量検出デバイスの製造方法、電子機器及び移動体

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：渡辺和昭 , 西田圭介 , 仲井智至
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-117700
公開番号（公開出願番号）：特開2017-044686
出願日： 2016年06月14日
公開日（公表日）： 2017年03月02日
要約：

【課題】小型化及び生産性の向上が可能な物理量検出デバイスの提供。【解決手段】ジャイロ振動素子1は、駆動信号が印加される駆動信号電極130、及び駆動信号電極130に接続された駆動信号配線132を含む駆動信号パターンD1と、第1検出信号を出力する第1検出電極S1a、及び第1検出電極S1aに接続された第1検出信号配線S1bを含み、駆動信号パターンD1と容量結合(C1)している第1検出信号パターンS1と、第1検出信号と逆相の第2検出信号を出力する第2検出電極S2a、及び第2検出電極S2aに接続された第2検出信号配線S2bを含み、駆動信号パターンD1と容量結合(C2)している第2検出信号パターンS2と、を備え、第1検出信号パターンS1、第2検出信号パターンS2、及び駆動信号パターンD1のいずれか1つは、当該信号パターンの面積を調整する調整用パターンPを含む。【選択図】図3A

請求項（抜粋）：

物理量検出デバイスであって、駆動信号が印加される駆動電極、及び前記駆動電極に接続された駆動信号配線を含む駆動信号パターンと、第1検出信号を出力する第1検出電極、及び前記第1検出電極に接続された第1検出信号配線を含み、前記駆動信号パターンと容量結合している第1検出信号パターンと、前記第1検出信号と逆相の第2検出信号を出力する第2検出電極、及び前記第2検出電極に接続された第2検出信号配線を含み、前記駆動信号パターンと容量結合している第2検出信号パターンと、を備え、前記第1検出信号パターン、前記第2検出信号パターン、及び前記駆動信号パターンのいずれか1つは、当該信号パターンの面積を調整する調整用パターンを含むことを特徴とする物理量検出デバイス。

IPC (5件)：

G01C 19/562 , H01L 41/113 , H01L 41/09 , H01L 41/053 , H01L 41/253

FI (5件)：

G01C19/5628 , H01L41/113 , H01L41/09 , H01L41/053 , H01L41/253

Fターム (12件)：

2F105AA01 , 2F105AA02 , 2F105AA03 , 2F105AA05 , 2F105AA06 , 2F105AA08 , 2F105BB07 , 2F105BB13 , 2F105BB15 , 2F105CC01 , 2F105CD02 , 2F105CD06

引用特許：

審査官引用 (1件)

特開平3-276013

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