特許
J-GLOBAL ID：201703000169023954
エシェル型回折格子の製造方法およびエキシマレーザの製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
藤元 亮輔
, 水本 敦也
, 平山 倫也
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-198065
公開番号（公開出願番号）：特開2013-092754
特許番号：特許第6066634号
出願日： 2012年09月10日
公開日（公表日）： 2013年05月16日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 紫外光を発する光源と、
複数の格子を有し、前記複数の格子が並ぶ断面において各格子は非対称な三角形形状を有する反射型のエシェル型回折格子と、
を有するエキシマレーザの製造方法であって、
前記光源の波長、前記波長を有する入射光に対して設定されたブレーズ次数、前記格子の繰り返しピッチ、前記格子の材料の情報、以下の条件式を満足する前記ブレーズ次数の回折効率aとその一つ低次の回折効率bの比率である配向比b/aを取得するステップと、
0.025≦b/a≦0.400
前記取得するステップで取得した情報に基づいて、各格子のブレーズ面と格子平面とがなす角であるブレーズ角の初期値が取り得る範囲を提示するステップと、
を有することを特徴とするエキシマレーザの製造方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
審査官引用 (2件)
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特許第4549019号
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回折格子とその製造方法
公報種別：公開公報
出願番号：特願平11-257541
出願人：サイマーインコーポレイテッド
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