特許

J-GLOBAL ID：201703000205881717

変位計測装置

発明者： 小山 勝弘 ,  宮澤 冬樹 ,  松田 勲 ,  萩原 康仁 ,  浜本 貴樹
出願人/特許権者： 太陽誘電株式会社
代理人 (2件)： 大森 純一 ,  高橋 満
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-044476
公開番号（公開出願番号）：特開2017-161294
出願日： 2016年03月08日
公開日（公表日）： 2017年09月14日
要約：

【課題】回折格子の光軸周りのチルトが発生しても所望の計測精度を維持できる変位計測装置を提供すること。【解決手段】変位計測装置100は、光源12と、前記光源12からの光が入射する回折格子20と、前記光が前記回折格子を透過して得られる干渉光を受光するPD30と、前記PD30で得られる信号に基づき、前記回折格子20と前記PD30との相対的な変位を出力する出力部40とを具備する。回折格子20が1つのみ設けられるので、回折格子20とPD30とに相対的に、光軸周りのチルトが発生しても、変位の計測精度の低下が少ない。すなわち、所望の計測精度を維持できる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

光源と、 前記光源からの光が入射する回折格子と、 前記光が前記回折格子を透過して得られる干渉光を受光する受光部と 前記受光部で得られる信号に基づき、前記回折格子と前記受光部との相対的な変位を出力する出力部と を具備する変位計測装置。

IPC (2件)：

G01B 11/00 ,  G01D 5/38

FI (2件)：

G01B11/00 G ,  G01D5/38 A

Fターム (37件)：

2F065AA02 ,  2F065AA07 ,  2F065AA09 ,  2F065AA20 ,  2F065BB02 ,  2F065BB18 ,  2F065DD04 ,  2F065DD11 ,  2F065EE11 ,  2F065FF48 ,  2F065FF52 ,  2F065GG07 ,  2F065HH03 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ18 ,  2F065LL12 ,  2F065LL28 ,  2F065LL30 ,  2F065LL42 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ27 ,  2F103BA08 ,  2F103BA10 ,  2F103CA01 ,  2F103CA02 ,  2F103CA04 ,  2F103CA08 ,  2F103DA01 ,  2F103EA05 ,  2F103EA15 ,  2F103EA17 ,  2F103EB06 ,  2F103EB12 ,  2F103EB15 ,  2F103EB16 ,  2F103EC03 ,  2F103EC11