特許

J-GLOBAL ID：201703000227577531

ガスの質量流速を測定するための方法及び機器

発明者： ニール アレクサンダー ダウニー
出願人/特許権者： エア プロダクツ アンド ケミカルズ インコーポレイテッド
代理人 (7件)： 青木 篤 ,  石田 敬 ,  古賀 哲次 ,  木村 健治 ,  関根 宣夫 ,  胡田 尚則 ,  出野 知
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-513199
特許番号：特許第6126207号
出願日： 2013年05月23日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 オリフィスを通るガスの質量流速を測定する方法であって、該方法はオリフィスの上流でガスと接触する第一の圧電発振器、及び、オリフィスの下流でガスと接触する第二の圧電発振器を使用し、 a)第一の圧電発振器及び第二の圧電発振器の各々がそれぞれの共振周波数で共振するように第一の圧電発振器及び第二の圧電発振器を駆動すること、 b)第一の圧電発振器の共振周波数及び第二の圧電発振器の共振周波数を測定すること、 c)第一の圧電発振器の共振周波数及び第二の圧電発振器の共振周波数から、オリフィスの上流のガスの密度、オリフィスの下流のガスの密度、及びオリフィスの上流のガスの密度/オリフィスの下流のガスの密度の比を決定すること、及び、 d)前記比に依存して前記オリフィスを通るガスの質量流速を決定することを含む、方法。

IPC (1件)：

G01F 1/42 ( 200 6.01)

FI (1件)：

G01F 1/42 A

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 流量を測定するためのシステムおよび方法
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2007-546711   出願人：セレリティ・インコーポレイテッド
• 改良型圧力式流量制御装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-399433   出願人：大見忠弘, 東京エレクトロン株式会社, 株式会社フジキン
• 定流量発生装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-359977   出願人：株式会社技術開発総合研究所, 繪畑義衛
• 特開平2-017419