特許
J-GLOBAL ID：201703000273438074

電子線照射装置

発明者：
松村 達也

松村 達也 について


出願人/特許権者：
浜松ホトニクス株式会社

浜松ホトニクス株式会社 について


代理人 (4件)： 長谷川 芳樹 ,  黒木 義樹 ,  柴山 健一 ,  荒井 寿王
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-249455
公開番号（公開出願番号）：特開2017-122723
出願日： 2016年12月22日
公開日（公表日）： 2017年07月13日
要約：
【課題】容器の口部から容器内に挿入可能な長尺の筒状部材を有する電子線ガイド部を備えた電子線照射装置において、安定して電子線ガイド部の先端側の電子線出射窓から電子線を出射させる。【解決手段】電子線照射装置1aは、電子銃2、真空容器3、ガイド部10、電子線出射窓11、集束用電磁コイル14及び制御部12を具備する。ガイド部10の筒状部材は、非磁性体で形成される基端部10aと、ボトルB内に挿入可能なロッド部10bと、を有する。集束用電磁コイル14は、電磁コイルであり、流れる電流が制御部12で制御されることにより、ガイド部10の内部で集束点が形成されないように電子線EBを集束しつつ、電子線EBの広がりを抑制する集束制御を行う磁界を、基端部10aを通して電子線EBに導く。ロッド部10bは、電子線EBに及ぶ外部磁気を遮蔽するように磁気シールドされている。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
電子線を発生させる電子線発生部と、 前記電子線発生部を収容する真空空間を構成する筐体部と、 基端側が前記筐体部に接続されて前記真空空間と連通すると共に、先端側には前記電子線の出射方向に沿って前記筐体部から離間するように突出する長尺の筒状部材が備えられ、前記電子線発生部で発生させた前記電子線が内部を通過する電子線ガイド部と、 前記電子線ガイド部の先端側に設けられ、前記電子線を出射する電子線出射窓と、 前記電子線ガイド部における前記電子線の集束を制御する集束部と、 前記集束部を制御する制御部と、を具備し、 前記筒状部材は、前記集束部により包囲され非磁性体で形成される基端部と、前記筐体部よりも小径な円筒状部材であって容器内に挿入可能なロッド部と、を有し、 前記集束部は、電磁コイルであり、流れる電流が前記制御部により制御されることにより、前記電子線ガイド部の内部において集束点が形成されないように前記電子線を集束しつつ、前記電子線の広がりを抑制する集束制御を行う磁界を、前記基端部を通して前記電子線に導き、 前記ロッド部は、前記ロッド部内の前記電子線に及ぶ外部磁気を遮蔽するように磁気シールドされている、電子線照射装置。
IPC (5件)：
G21K 5/04 ,  G21K 1/093 ,  B65B 55/08 ,  B65B 55/04 ,  A61L 2/08
FI (6件)：
G21K5/04 S ,  G21K5/04 E ,  G21K1/093 F ,  B65B55/08 B ,  B65B55/04 C ,  A61L2/08 108
Fターム (5件)：
4C058AA25 ,  4C058BB06 ,  4C058KK03 ,  4C058KK32 ,  4C058KK42
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

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