特許
J-GLOBAL ID：201703000445254035
高硬度材料のマルチワイヤーソーによる切断方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
奥田 誠司
, 喜多 修市
, 梶谷 美道
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-533106
特許番号：特許第6102927号
出願日： 2013年08月30日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 両端を有する本体部分と、前記本体部分の両端のうちの一方にのみ位置する低品質結晶部分とをそれぞれ有する第1および第2のインゴットを用意する工程(A)と、
前記低品質結晶部分が位置しない端部が互いに対向するように前記第1および第2のインゴットを固定用ベースに固定する工程(B)と、
少なくとも一対のローラー間でソーワイヤーが複数回、巻回され、前記少なくとも一対のローラー間において、等間隔で平行に張られた複数の切削部分を有する切削領域を含むマルチワイヤーソーを用い、前記ソーワイヤーの前記切削領域が前記第1および第2のインゴットの前記低品質結晶部分とは接触せず、前記本体部分に接触するように、前記第1および第2のインゴットを前記ソーワイヤーに対して相対的に移動させることによって、前記第1および第2のインゴットをスライスする工程(C)と
を包含する、高硬度材料のマルチワイヤーソーによる切断方法。
IPC (3件)：
H01L 21/304 ( 200 6.01)
, B24B 27/06 ( 200 6.01)
, B28D 5/04 ( 200 6.01)
H01L 21/304 611 W
, B24B 27/06 D
, B28D 5/04 C
