付着物量の測定装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-066216
公開番号（公開出願番号）：特開2017-181190
出願日： 2016年03月29日
公開日（公表日）： 2017年10月05日
要約：

【課題】複雑な演算処理等を必要とせず、検査対象領域に付着した物質の付着物量が大きく異なる状態で混在していても、精度の高い測定結果を得ることができる装置を提供する。【解決手段】検査対象領域Rに付着した付着物Sの付着物量を測定する装置1であって、検査対象領域Rに向けて光エネルギーを照射する光源2と、付着物Sから放出する放出エネルギーを検出する検出部3と、光エネルギー/放出エネルギーの検出条件を切り換える検出条件切換部4と、付着物量の測定に用いる関係情報を記憶しておく記憶部5と、検出部3で検出した異なる検出条件の画像に基づいて、第1領域付着物量と第2領域付着物量を算出し、第1領域付着物量に第2領域付着物量を加えて付着物量の算出を行う、付着物量算出部6を備えたことを特徴とする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

検査対象領域に付着した付着物の付着物量を測定する装置であって、前記検査対象領域に向けて光エネルギーを照射する光源と、前記検査対象領域に付着した付着物から放出する放出エネルギーを検出する検出部と、前記光源から照射する前記光エネルギーの量および前記検出部で検出する前記放出エネルギーの検出感度のうち少なくとも一方に関する検出条件を切り替える検出条件切替部と、単位面積あたりの前記付着物の質量とエネルギー強度との相関関係が関連付けられた関係情報が、前記検出条件毎に記憶された記憶部と、前記検出部で検出した異なる検出条件の前記放出エネルギーの検出結果に基づいて、第1の検出条件で検出された前記放出エネルギーの検出結果におけるエネルギー強度が適正範囲にある領域については、当該エネルギー強度と当該第1の検出条件に対応する関係情報に基づく付着物量を、第1領域付着物量として算出し、前記第1の検出条件で検出されたエネルギー強度が適正範囲にない領域に対応する領域であって、第2の検出条件で検出された前記放出エネルギーの検出結果におけるエネルギー強度が適正範囲にある領域については、当該エネルギー強度と当該第2の検出条件に対応する関係情報に基づく付着物量を、第2領域付着物量として算出し、前記第1領域付着物量に前記第2領域付着物量を加えて前記付着物量の算出を行う、付着物量算出部を備えたことを特徴とする、付着物量の測定装置。

IPC (3件)：

G01N 21/94 , G01N 21/954 , G01N 21/88

FI (3件)：

G01N21/94 , G01N21/954 B , G01N21/88 K

Fターム (24件)：

2G040AA08 , 2G040AB05 , 2G040BA02 , 2G040BA29 , 2G040CA01 , 2G040DA06 , 2G040DA15 , 2G040EA06 , 2G040HA02 , 2G040HA05 , 2G051AA83 , 2G051AB15 , 2G051AC02 , 2G051BC01 , 2G051CA04 , 2G051CB01 , 2G051CB05 , 2G051CB10 , 2G051CC07 , 2G051CD01 , 2G051EA16 , 2G051EA20 , 2G051EA24 , 2G051EC06

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