特許
J-GLOBAL ID:201703000703295060

プローブカード搬送具

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 大槻 聡
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2016-213304
特許番号:特許第6054574号
出願日: 2016年10月31日
要約:
【課題】プローブカードの取り扱いを容易に行うことができ、小径化(小型化)したプローブカードにも対応することのできるプローブカードケース等を提供する。 【解決手段】プローブカードを収納するためのプローブカードケースであって、前記プローブカードを所定位置に載置可能とされた第1ケース部材と、前記第1ケース部材の上側に嵌合可能とされ、前記プローブカードを固定するためのカード固定機構を有する第2ケース部材と、前記第1ケース部材と前記第2ケース部材とを固定するためのケース固定機構と、を具備し、前記プローブカードを内部に収納し、前記第1ケース部材と前記第2ケース部材とを固定した状態で搬送可能とされるとともに、前記プローブカードを前記第2ケース部材に固定した状態で、前記第2ケース部材のみと共に前記プローブカードを搬送可能とされたことを特徴とする。 【選択図】図1
請求項(抜粋):
【請求項1】一方の面がプローブカードと対向する平板状の天板部と、 前記天板部に設置され、前記プローブカードを固定するカード固定機構とを備え、 前記カード固定機構は、前記天板部の他方の面側からの操作により、前記プローブカードの前記天板部への固定及び解除が可能であることを特徴とするプローブカード搬送具。
IPC (1件):
H01L 21/66 ( 200 6.01)
FI (1件):
H01L 21/66 B

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