特許

J-GLOBAL ID：201703000775156218

マイクロ波イオン源の監視装置、プラズマ室モニタ及び監視方法

発明者： 村田 裕彦
出願人/特許権者： 住友重機械工業株式会社
代理人 (4件)： 森下 賢樹 ,  村田 雄祐 ,  三木 友由 ,  富所 輝観夫
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-088845
公開番号（公開出願番号）：特開2014-212081
特許番号：特許第6086795号
出願日： 2013年04月19日
公開日（公表日）： 2014年11月13日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 イオン引出開口を有するプラズマ室を備えるマイクロ波イオン源と、 前記イオン引出開口を通じて前記プラズマ室の中の内壁部材を監視するよう前記プラズマ室の外に配設されるプラズマ室モニタと、を備えることを特徴とするマイクロ波イオン源の監視装置。

IPC (3件)：

H01J 27/16 ( 200 6.01) ,  H01J 37/08 ( 200 6.01) ,  H01J 49/10 ( 200 6.01)

FI (3件)：

H01J 27/16 ,  H01J 37/08 ,  H01J 49/10

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 特開平3-276538
  

審査官引用 (1件)

• 特開平3-276538