特許
J-GLOBAL ID：201703000809609918
荷電粒子線装置
発明者：
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
戸田 裕二
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-005879
公開番号（公開出願番号）：特開2014-137905
特許番号：特許第6151028号
出願日： 2013年01月17日
公開日（公表日）： 2014年07月28日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 試料を保持する静電チャック機構と、当該静電チャックが設置される試料室を備えた荷電粒子線装置において、
荷電粒子ビームを照射する荷電粒子ビームカラムと、前記試料より前記荷電粒子ビームカラム側に設置され、前記静電チャック機構の前記試料の吸着面側の電位を測定する表面電位センサと、前記静電チャック機構によって前記試料を吸着した状態で、前記表面電位センサによる前記試料表面の電位測定を行う制御装置を備えた荷電粒子線装置。
IPC (2件)：
H01J 37/28 ( 200 6.01)
, H01J 37/20 ( 200 6.01)
H01J 37/28 B
, H01J 37/20 H
, H01J 37/20 D
