特許
J-GLOBAL ID：201703000875039057
基板搬送装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
宮園 博一
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-541326
特許番号：特許第6126694号
出願日： 2013年10月08日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 基板を搬送方向に搬送するコンベア部と、
前記搬送方向と直交する基板幅方向に間隔を隔てて互いに平行に設けられた第1ガイドレールおよび第2ガイドレールと、
前記基板幅方向に、前記第1ガイドレールを前記第2ガイドレールに対して相対的に平行移動させるモータと、
前記第1ガイドレールと前記第2ガイドレールとの間のレール間隔を前記基板の幅よりも大きい第1間隔にして所定の作業が行われる作業位置まで前記コンベア部により基板搬送を行うとともに、前記作業位置での作業の際に、前記モータの検出値に基づいて、前記レール間隔を前記第1間隔よりも小さい第2間隔にして前記基板の傾きを矯正するように、前記第1ガイドレールを前記第2ガイドレールに対して相対移動させる制御を行うように構成された制御部とを備え、
前記第1ガイドレールおよび前記第2ガイドレールの少なくとも一方は、前記搬送方向の所定の作業領域における前記レール間隔が前記作業領域以外における前記レール間隔よりも小さくなるように、前記作業領域において前記基板幅方向内側に突出する突出部を有する、基板搬送装置。
IPC (4件)：
B65G 49/00 ( 200 6.01)
, H05K 13/02 ( 200 6.01)
, B65G 21/20 ( 200 6.01)
, H05K 3/34 ( 200 6.01)
B65G 49/00 Z
, H05K 13/02 U
, B65G 21/20 C
, H05K 3/34 507 L
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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