特許

J-GLOBAL ID：201703000953672586

ウエハ積層体及びその製造方法

発明者： 安田 浩之 ,  菅生 道博
出願人/特許権者： 信越化学工業株式会社
代理人 (1件)： 特許業務法人英明国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2017-108863
公開番号（公開出願番号）：特開2017-220669
出願日： 2017年06月01日
公開日（公表日）： 2017年12月14日
要約：

【課題】支持体とウエハとの接合が容易であり、ウエハの支持体からの剥離も容易で、薄型ウエハの生産性を高めることができる、薄型ウエハ製造に適したウエハ積層体、及びその製造方法を提供する。【解決手段】支持体と、該支持体上に形成された接着剤層と、該接着剤層に回路面を有する表面が対向するように積層されたウエハとを備えたウエハ積層体であって、前記接着剤層が、前記支持体側から順に、遮光性を有する樹脂層Aと、シロキサン骨格及びエポキシ基を含む樹脂を含む樹脂層Bと、非シリコーン系熱可塑性樹脂を含む樹脂層Cとを含み、樹脂層Bが、シロキサン骨格及びエポキシ基を含む樹脂を含む樹脂組成物Bの硬化物からなり、該樹脂組成物Bの硬化物の樹脂モジュラスが10〜1,000MPaであるウエハ積層体。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

支持体と、該支持体上に形成された接着剤層と、該接着剤層に回路面を有する表面が対向するように積層されたウエハとを備えたウエハ積層体であって、 前記接着剤層が、前記支持体側から順に、遮光性を有する樹脂層Aと、シロキサン骨格及びエポキシ基を含む樹脂を含む樹脂層Bと、非シリコーン系熱可塑性樹脂を含む樹脂層Cとを含み、 樹脂層Bが、シロキサン骨格及びエポキシ基を含む樹脂を含む樹脂組成物Bの硬化物からなり、該樹脂組成物Bの硬化物の樹脂モジュラスが10〜1,000MPaであるウエハ積層体。

IPC (7件)：

H01L 21/304 ,  B24B 7/22 ,  C09J 7/02 ,  C09J 201/00 ,  C09J 183/04 ,  C09J 163/00 ,  H01L 21/683

FI (7件)：

H01L21/304 622J ,  B24B7/22 Z ,  C09J7/02 Z ,  C09J201/00 ,  C09J183/04 ,  C09J163/00 ,  H01L21/68 N

Fターム (58件)：

3C043BA03 ,  3C043BA09 ,  3C043CC04 ,  3C043DD05 ,  3C043DD12 ,  4J004AA13 ,  4J004BA03 ,  4J004FA08 ,  4J040DB051 ,  4J040DM011 ,  4J040EC051 ,  4J040EK011 ,  4J040EK111 ,  4J040HB14 ,  4J040HB19 ,  4J040HC01 ,  4J040HC02 ,  4J040HC23 ,  4J040HD21 ,  4J040JA09 ,  4J040KA16 ,  4J040KA23 ,  4J040KA29 ,  4J040LA01 ,  4J040LA02 ,  4J040NA20 ,  4J040PA42 ,  5F057AA14 ,  5F057AA39 ,  5F057BA11 ,  5F057BB03 ,  5F057BB05 ,  5F057BB06 ,  5F057CA14 ,  5F057CA40 ,  5F057DA11 ,  5F057EC13 ,  5F057EC14 ,  5F057EC20 ,  5F057FA22 ,  5F131AA02 ,  5F131BA04 ,  5F131BA32 ,  5F131BA35 ,  5F131BA43 ,  5F131BA53 ,  5F131CA02 ,  5F131CA23 ,  5F131CA32 ,  5F131EC34 ,  5F131EC43 ,  5F131EC53 ,  5F131EC54 ,  5F131EC55 ,  5F131EC64 ,  5F131EC65 ,  5F131EC73 ,  5F131EC76