特許

J-GLOBAL ID：201703000987083504

差圧検出素子、流量計測装置、及び、差圧検出素子の製造方法

発明者： 新井 隼人 ,  塩入 達也 ,  ▲高▼山 直樹
出願人/特許権者： 株式会社フジクラ
代理人 (1件)： とこしえ特許業務法人
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-047102
特許番号：特許第6073512号
出願日： 2016年03月10日
要約：

【課題】オフセット状態でのカンチレバー部の初期そり量を低減することでオフセット電圧を小さくした差圧検出素子を提供する。 【解決手段】開口111を有する支持基板11と、開口111に突出するように支持基板11に片持ち支持されたカンチレバー部12と、カンチレバー部12の固定端121に設けられたピエゾ抵抗部131,132を含む拡散層13と、拡散層13に電気的に接続された一対の配線部16,17と、拡散層13を覆う第1の絶縁層14と、第1の絶縁層14に積層された第2の絶縁層15と、を備えており、第1の絶縁層14の線膨張係数は、カンチレバー部12を構成する材料の線膨張係数に対して相対的に小さく、第2の絶縁層15の線膨張係数は、第1の絶縁層14の線膨張係数に対して相対的に大きい。 【選択図】図3

請求項（抜粋）：

【請求項1】 開口を有する支持部と、 前記開口に突出するように前記支持部に片持ち支持されたカンチレバー部と、 前記カンチレバー部の固定端に設けられたピエゾ抵抗部を含む拡散層と、 前記拡散層に電気的に接続された一対の配線部と、 前記拡散層を覆う第1の絶縁層と、 前記第1の絶縁層に積層された第2の絶縁層と、を備えており、 前記第1の絶縁層の線膨張係数は、前記カンチレバー部を構成する材料の線膨張係数に対して相対的に小さく、 前記第2の絶縁層の線膨張係数は、前記第1の絶縁層の線膨張係数に対して相対的に大きい差圧検出素子。

IPC (6件)：

G01L 13/06 ( 200 6.01) ,  G01F 1/34 ( 200 6.01) ,  G01P 5/14 ( 200 6.01) ,  H01L 29/84 ( 200 6.01) ,  B81B 3/00 ( 200 6.01) ,  B81C 1/00 ( 200 6.01)

FI (6件)：

G01L 13/06 R ,  G01F 1/34 Z ,  G01P 5/14 J ,  H01L 29/84 B ,  B81B 3/00 ,  B81C 1/00