特許

J-GLOBAL ID：201703001046781338

メンブラン真空ポンプ

発明者： アルミン・コンラート
出願人/特許権者： プファイファー・ヴァキューム・ゲーエムベーハー
代理人 (4件)： 江崎 光史 ,  鍛冶澤 實 ,  篠原 淳司 ,  清田 栄章
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-162584
公開番号（公開出願番号）：特開2017-078402
出願日： 2016年08月23日
公開日（公表日）： 2017年04月27日
要約：

【課題】コンパクトかつ簡易な構造を有し、そして従来のデメリットを、特に摩耗及びデッドボリュームに関し克服したメンブラン真空ポンプを完成する。【解決手段】少なくとも一つの作動室(13,13a,13b)を有し、作動室の大きさを変更するために変形可能なメンブラン(15)と、壁部(17,17a,17b)によって境界づけられており、この中に少なくとも一つのインレット(23a,23b)と少なくとも一つのアウトレット(25a,25b)が形成されており、この媒体は、吸引フェーズ中に、インレットを介して、拡大する作動室(13,13a,13b)内に吸入され、そして圧縮フェーズ中にアウトレットを介してその際縮小する作動室から排出され、かつ、電場及び/又は磁場によるメンブラン(15)の非接触式の付勢によるメンブランの変形の為に駆動可能なアクチュエータユニット(31,31a,31b)を有することを特徴とする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

メンブラン真空ポンプ(11)であって、 少なくとも一つの作動室(13,13a,13b)を有し、この作動室が、作動室(13,13a,13b)の大きさを変更するために変形可能なメンブラン(15)と、壁部(17,17a,17b)によって境界づけられており、この中に、媒体の為の少なくとも一つのインレット(23a,23b)と少なくとも一つのアウトレット(25a,25b)が形成されており、この媒体は、吸引フェーズ中に、インレット(23a,23b)を介して、その際拡大する作動室(13,13a,13b)内に吸入され、そして圧縮フェーズ中にアウトレット(25a,25b)を介してその際縮小する作動室(13,13a,13b)から排出され、 かつ、 電場及び/又は磁場によるメンブラン(15)の非接触式の付勢によるメンブラン(15)の変形の為に駆動可能なアクチュエータユニット(31,31a,31b)を有することを特徴とするメンブラン真空ポンプ(11)。

IPC (1件)：

F04B 45/047

FI (1件)：

F04B45/047 A

Fターム (9件)：

3H077AA12 ,  3H077CC02 ,  3H077CC09 ,  3H077DD05 ,  3H077EE02 ,  3H077EE21 ,  3H077FF08 ,  3H077FF13 ,  3H077FF32

引用特許：

審査官引用 (3件)

• ポンプモジュール並びに容積形ポンプ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2013-129759   出願人：プファイファー・ヴァキューム・ゲーエムベーハー
• 特開平4-043875
  
• 特開平4-043875