特許
J-GLOBAL ID：201703001229284422
クライオポンプ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
森下 賢樹
, 村田 雄祐
, 三木 友由
, 富所 輝観夫
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-125819
公開番号（公開出願番号）：特開2015-001186
特許番号：特許第6076843号
出願日： 2013年06月14日
公開日（公表日）： 2015年01月05日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 第1ステージと、前記第1ステージより低温に冷却される第2ステージと、を備える冷凍機と、
主開口を有する放射シールドと、前記主開口に配設されている入口クライオパネルと、を備え、前記第1ステージに熱的に接続されている第1クライオパネルと、
前記入口クライオパネルに対向するトップパネルを備え、前記第1クライオパネルに囲まれており、前記第2ステージに熱的に接続されている第2クライオパネルと、を備え、
前記放射シールドは、前記トップパネルの側方に位置し前記冷凍機を前記放射シールドに取り付けるための取付座と、前記取付座に隣接して前記トップパネルを周方向に囲むシールド部分と、を備え、
前記トップパネルと前記取付座との間には側方隙間が形成され、前記トップパネルと前記シールド部分との間には前記側方隙間に連続する隙間部が形成されており、
前記側方隙間の幅と前記隙間部の幅とを合わせるように前記トップパネルの形状または配置が調整されていることを特徴とするクライオポンプ。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
審査官引用 (1件)
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クライオポンプ
公報種別：公開公報
出願番号：特願2008-130138
出願人：住友重機械工業株式会社
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