特許
J-GLOBAL ID：201703001551826036

プローバ

発明者：
田邨 拓郎

田邨 拓郎 について


出願人/特許権者：
株式会社東京精密

株式会社東京精密 について


代理人 (1件)： 松浦 憲三
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-171662
特許番号：特許第6048614号
出願日： 2016年09月02日
要約：
【課題】プローブカードとウエハとの平行度を保つことができ、ウエハレベル検査を高精度に行うことができるプローバを提供する。 【解決手段】テストヘッド54と、ウエハチャック50と、ウエハチャック50に対向する面に複数のプローブ66を有するプローブカード56と、プローブカード56とテストヘッド54の間に介在して配置され、プローブカード56とテストヘッド54とを電気的に接続するポゴフレーム58と、ウエハチャック50とプローブカード56との間に密閉空間Sを形成するシール部材64と、密閉空間Sを減圧することで、ウエハチャック50をプローブカード56に向かって引き寄せる減圧手段と、テストヘッド54の外縁部の互いに異なる複数の位置をそれぞれ弾性支持する複数の緩衝部と、を備える。 【選択図】図5
請求項（抜粋）：
【請求項1】 ウエハの電気的特性を検査するテストヘッドと、 前記ウエハを保持するウエハチャックと、 前記ウエハチャックに対向する面に複数のプローブを有するプローブカードと、 前記プローブカードと前記テストヘッドの間に介在して配置され、前記プローブカードと前記テストヘッドとを電気的に接続するポゴフレームと、 前記ポゴフレームが取り付けられるポゴフレーム取付部を有するヘッドステージと、 前記ヘッドステージを支持するフレーム部材と、 前記フレーム部材に支持され、前記テストヘッドを保持するテストヘッド保持部と、 前記ウエハチャックと前記プローブカードとの間に密閉空間を形成するシール部材と、 前記密閉空間を減圧することで、前記ウエハチャックを前記プローブカードに向かって引き寄せる減圧手段と、 を備えるプローバであって、 前記テストヘッド保持部は前記テストヘッドの外縁部の互いに異なる複数の位置をそれぞれ弾性支持する複数の緩衝部を有するプローバ。
IPC (2件)：
H01L 21/66 ( 200 6.01) ,  G01R 31/28 ( 200 6.01)
FI (2件)：
H01L 21/66 B ,  G01R 31/28 K
引用特許：
出願人引用 (4件)
全件表示
審査官引用 (4件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM