ダイボンダ及びボンディング方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：ポレール特許業務法人
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-054149
公開番号（公開出願番号）：特開2014-179555
特許番号：特許第6093610号
出願日： 2013年03月15日
公開日（公表日）： 2014年09月25日
請求項（抜粋）：

【請求項1】ウェハを保持するエキスパンドリングと、前記ウェハからダイをピックアップするピックアップヘッドと、ワークに前記ピックアップしたダイをボンディングするボンディングヘッドと、前記エキスパンドリング、前記ピックアップヘッドおよび前記ボンディングヘッドを撮像する撮像機構と、前記撮像機構の撮像結果に基づいて前記エキスパンドリング、前記ピックアップヘッドおよび前記ボンディングヘッドのそれぞれの現在位置を把握する位置把握機構と、前記現在位置に基づいて前記エキスパンドリング、前記ピックアップヘッドおよび前記ボンディングヘッドをそれぞれの動作原点に復帰させる動作原点復帰機構と、を備えことを特徴とするダイボンダ。

IPC (1件)：