特許
J-GLOBAL ID：201703001709644593
洗浄装置および加工装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
酒井 宏明
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-135513
公開番号（公開出願番号）：特開2015-012092
特許番号：特許第6121265号
出願日： 2013年06月27日
公開日（公表日）： 2015年01月19日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 複数のチップに分割された板状の被加工物が環状フレームの開口に粘着テープを介して支持されるフレームユニットの前記被加工物を洗浄する洗浄装置であって、
前記粘着テープを介して前記被加工物を吸引保持する保持面を備え、前記保持面と直交する回転軸周りに回転するチャックテーブルと、
前記チャックテーブルで保持する前記被加工物に洗浄液を噴射する洗浄ノズルと、
前記チャックテーブルと前記洗浄ノズルとを囲繞し洗浄室を形成する外周壁と、
前記チャックテーブルの保持面より下方で、前記チャックテーブルと前記外周壁の内周との間の領域に対応し、洗浄中に飛散する前記被加工物のチップを受けとめる有底状の環状ストレーナと、を含み、
前記環状ストレーナは、複数の円弧状ストレーナが周方向に連なって環状に形成され、少なくとも1つの前記円弧状ストレーナは前記洗浄室から着脱できることを特徴とする洗浄装置。
IPC (3件)：
H01L 21/304 ( 200 6.01)
, H01L 21/301 ( 200 6.01)
, B08B 3/02 ( 200 6.01)
H01L 21/304 648 K
, H01L 21/78 F
, H01L 21/304 643 A
, B08B 3/02 B
, H01L 21/78 P
