カーボンナノチューブの製造装置

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人森本国際特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-170021
公開番号（公開出願番号）：特開2015-040134
特許番号：特許第6168911号
出願日： 2013年08月20日
公開日（公表日）： 2015年03月02日
請求項（抜粋）：

【請求項1】表面に触媒が付着された基板を所定方向に移動させてカーボンナノチューブを生成するための製造装置であって、当該基板の移動方向に沿って、当該基板の温度を所定温度まで上昇させる前処理部と、当該前処理部にて所定温度まで上昇した基板に原料ガスを供給しながら化学気相成長法によりカーボンナノチューブを形成する形成部とを備え、前記前処理部において、前記基板を案内するダクトと、当該前処理部内に設けられて前記ダクト内を450°C〜640°Cに加熱する加熱装置とを備え、前記ダクト内に不活性ガス及び/又は微粒化促進ガスから成る前処理用ガスを供給して前記基板表面の触媒を微粒化することを特徴とするカーボンナノチューブの製造装置。

IPC (1件)：

C01B 32/164 ( 201 7.01)

FI (1件)：

C01B 32/164

引用特許：

審査官引用 (4件)

連続的に移動する基材上においてカーボン・ナノチューブを製造する装置及び方法
公報種別：公表公報出願番号：特願2012-504678 出願人：アプライドナノストラクチャードソリューションズリミテッドライアビリティーカンパニー
熱CVD装置および蒸着膜の形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2011-014640 出願人：日立造船株式会社
カーボンナノチューブ形成用CVD装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2010-031897 出願人：日立造船株式会社

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