特許

J-GLOBAL ID：201703001937947350

気体分子成分検出装置、検出方法および検出装置の作製方法

発明者： 加納 伸也 ,  藤井 稔 ,  佐々木 誠仁
出願人/特許権者： 国立大学法人神戸大学
代理人 (1件)： 特許業務法人グローバル知財
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-160825
公開番号（公開出願番号）：特開2017-040490
出願日： 2015年08月18日
公開日（公表日）： 2017年02月23日
要約：

【課題】絶縁基板上に形成したシリコンナノ結晶薄膜を利用し、より簡便に微小水分量などを測定できる気体分子成分検出装置および検出方法を提供する。【解決手段】絶縁基板上、若しくは、絶縁体で表面が被覆された基板上に、表面修飾分子が無いシリコンナノ結晶薄膜が積層され、シリコンナノ結晶薄膜の電気伝導特性を測定する手段が設けられた構成を備える。微小な水分量の変化で薄膜の電気伝導度が大きく変化し、微小水分センサとして利用できる。水分量以外に、メタノール、エタノール、アセトン、トルエンの成分量の微小な変化も、薄膜の電気伝導度の変化で検出可能である。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

絶縁基板、若しくは、絶縁体で表面が被覆された基板と、 前記基板に積層されたシリコンナノ結晶薄膜と、 前記シリコンナノ結晶薄膜の電気伝導特性を測定する手段を備える装置において、 前記シリコンナノ結晶薄膜を構成するシリコンナノ結晶粒子は、粒子表面にホウ素(B)とリン(P)がドーピングされたことを特徴とする気体分子成分検出装置。

IPC (2件)：

G01N 27/04 ,  G01N 27/12

FI (5件)：

G01N27/04 B ,  G01N27/04 F ,  G01N27/12 E ,  G01N27/12 H ,  G01N27/12 C

Fターム (15件)：

2G046AA18 ,  2G046AA24 ,  2G046AA26 ,  2G046BA01 ,  2G046BB02 ,  2G046FE38 ,  2G060AA01 ,  2G060AB02 ,  2G060AE19 ,  2G060AF08 ,  2G060AG06 ,  2G060AG10 ,  2G060AG15 ,  2G060BB09 ,  2G060JA01