特許
J-GLOBAL ID：201703002254899896
処理システムおよび処理方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
日向寺 雅彦
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-135543
公開番号（公開出願番号）：特開2013-058735
特許番号：特許第6122256号
出願日： 2012年06月15日
公開日（公表日）： 2013年03月28日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 被処理物を収納する収納部と、
前記被処理物に処理を施す処理部と、
前記被処理物を載置する保持部を積層方向に第1の間隔をおいて複数有し、かつ載置された前記被処理物を前記積層方向に移動させる移動部を有する載置部と、
前記収納部と、前記載置部と、の間における前記被処理物の搬送を行い、前記積層方向における第1の位置において前記載置部に侵入する第1の搬送部と、
前記処理部と、前記載置部と、の間における前記被処理物の搬送を行い、前記積層方向において前記第1の位置とは異なる第2の位置において前記載置部に侵入する第2の搬送部と、
を備え、
前記第2の搬送部は、前記積層方向に積層するようにして設けられた2つの把持部を有し、
前記2つの把持部は、互いに逆方向に昇降動作し、前記2つの把持部のうちの一方が前記保持部に被処理物を載置するように下降し、他方の把持部が、他方の保持部から他方の被処理物を受け取るように上昇することが可能とされ、
前記第1の位置は、前記第2の位置を挟んで前記積層方向に2箇所設けられ、
前記第1の搬送部と、前記第2の搬送部と、が前記載置部に同時期に侵入することが可能とされたことを特徴とする処理システム。
IPC (2件)：
H01L 21/677 ( 200 6.01)
, B65G 49/07 ( 200 6.01)
H01L 21/68 A
, B65G 49/07 C
出願人引用 (8件)
全件表示
審査官引用 (6件)
全件表示
前のページに戻る
