特許
J-GLOBAL ID：201703002276783824

MEMSセンサ

発明者：
寒川 雅之

寒川 雅之 について


出願人/特許権者：
国立大学法人 新潟大学

国立大学法人 新潟大学 について


代理人 (1件)： 杉村 憲司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-087136
公開番号（公開出願番号）：特開2017-067755
出願日： 2016年04月25日
公開日（公表日）： 2017年04月06日
要約：
【課題】質感計測を単一のMEMSセンサで行う技術を提供する。【解決手段】質感計測用のMEMSセンサ1であって、透光性弾性部材4と、透光性弾性部材4に埋め込まれた少なくとも1つの検知素子5と、物体を照射する光源6と、を有し、検知素子5が、半導体層52上に絶縁層53を介して設けられた2つの端子54A,54Bと、半導体層52に端部が接続され、透光性弾性部材4に対する物体の接触に応じて変形するカンチレバー55と、カンチレバー55上に設けられ、2つの端子54A,54Bに各端部が接続されたひずみゲージ56と、を備え、2つの端子54A,54B間の直流抵抗の変化に基づき接触力を検知し、2つの端子54A,54B間の交流インピーダンス変化に基づき、物体からの反射スペクトルと物体の温度との少なくとも一方を検知することを特徴とする。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
質感計測用のMEMSセンサであって、 透光性弾性部材と、 前記透光性弾性部材に埋め込まれた少なくとも1つの検知素子と、 物体を照射する光源と、 を有し、 前記検知素子は、 半導体層上に絶縁層を介して設けられた2つの端子と、 前記半導体層に端部が接続され、前記透光性弾性部材に対する前記物体の接触に応じて変形するカンチレバーと、 前記カンチレバー上に設けられ、前記2つの端子に各端部が接続されたひずみゲージと、を備え、前記2つの端子間の直流抵抗の変化に基づき接触力を検知し、前記2つの端子間の交流インピーダンス変化に基づき、前記物体からの反射スペクトルと前記物体の温度との少なくとも一方を検知する、MEMSセンサ。
IPC (5件)：
G01D 21/02 ,  G01L 5/16 ,  G01N 27/04 ,  G01N 27/02 ,  G01N 21/27
FI (5件)：
G01D21/02 ,  G01L5/16 ,  G01N27/04 Z ,  G01N27/02 Z ,  G01N21/27 B
Fターム (27件)：
2F051AB09 ,  2F051BA07 ,  2F051DA03 ,  2F076BA01 ,  2F076BB01 ,  2F076BD01 ,  2F076BD05 ,  2F076BD09 ,  2F076BD10 ,  2F076BE02 ,  2G059AA03 ,  2G059BB08 ,  2G059EE02 ,  2G059EE12 ,  2G059GG02 ,  2G059JJ02 ,  2G059KK10 ,  2G060AA08 ,  2G060AA10 ,  2G060AA13 ,  2G060AE33 ,  2G060AE40 ,  2G060AF02 ,  2G060AF03 ,  2G060AF07 ,  2G060GA01 ,  2G060KA09
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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