特許
J-GLOBAL ID:201703002362820660
磁歪材料を含む光学素子
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (3件):
杉村 憲司
, 下地 健一
, 岡野 大和
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2015-507427
特許番号:特許第6200489号
出願日: 2013年03月14日
請求項(抜粋):
【請求項1】 光学素子(21)であって、
基板(30)、
反射コーティング(31)、
磁歪材料を含む少なくとも一つの活性層(34、34a、34b)、及び
前記少なくとも一つの活性層(34、34a、34b)において磁界(36、36b)を生成するための永久磁性材料を含む少なくとも一つの磁化層(35)を含み、
前記反射コーティング(31)は、高屈折率層材料と低屈折率層材料を含んでなる交互層(33a、33b)を有する複数の層ペア(32)を備え、
前記少なくとも一つの活性層(34)は、前記反射コーティング(31)内に形成されている、
ことを特徴とする光学素子(21)。
IPC (4件):
G03F 7/20 ( 200 6.01)
, G02B 5/08 ( 200 6.01)
, G02B 5/10 ( 200 6.01)
, G02B 19/00 ( 200 6.01)
FI (5件):
G03F 7/20 521
, G03F 7/20 503
, G02B 5/08 A
, G02B 5/10
, G02B 19/00
引用特許:
出願人引用 (3件)
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光学素子及び光学装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2006-162072
出願人:株式会社東芝
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投影露光装置
公報種別:公表公報
出願番号:特願2013-526424
出願人:カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー
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X線空間変調装置及びX線露光装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2009-109915
出願人:日本放送協会
審査官引用 (3件)
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光学素子及び光学装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2006-162072
出願人:株式会社東芝
-
投影露光装置
公報種別:公表公報
出願番号:特願2013-526424
出願人:カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー
-
X線空間変調装置及びX線露光装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2009-109915
出願人:日本放送協会
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