特許
J-GLOBAL ID:201703002625858225

ダイシングシート用基材フィルムおよびダイシングシート

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 早川 裕司 ,  村雨 圭介
公報種別:再公表公報
出願番号(国際出願番号):JP2013077503
公開番号(公開出願番号):WO2014-103468
出願日: 2013年10月09日
公開日(公表日): 2014年07月03日
要約:
樹脂層(A)を備えるダイシングシート用基材フィルム2であって、樹脂層(A)は、密度が0.900g/cm3以上のポリエチレン(a1)と、スチレン系エラストマー(a2)とを含有し、樹脂層(A)に含有される全樹脂成分に対して、ポリエチレン(a1)の含有量は50質量%以上90質量%以下であり、スチレン系エラストマー(a2)の含有量は10質量%以上50質量%以下である。かかるダイシングシート用基材フィルム2は、電子線やγ線などの物理的なエネルギーを与えることなく、被切断物のダイシング時に発生するダイシング屑の発生を抑制し、エキスパンド工程において十分な拡張性を有する。
請求項(抜粋):
樹脂層(A)を備えるダイシングシート用基材フィルムであって、 当該樹脂層(A)は、23°Cにおける密度が0.900g/cm3以上のポリエチレン(a1)と、スチレン系エラストマー(a2)とを含有し、 前記樹脂層(A)に含有される全樹脂成分に対して、前記ポリエチレン(a1)の含有量は50質量%以上90質量%以下であり、前記スチレン系エラストマー(a2)の含有量は10質量%以上50質量%以下であることを特徴とするダイシングシート用基材フィルム。
IPC (1件):
H01L 21/301
FI (1件):
H01L21/78 M
Fターム (18件):
5F063AA15 ,  5F063AA31 ,  5F063CA04 ,  5F063DD01 ,  5F063DD02 ,  5F063DD11 ,  5F063DD15 ,  5F063DD69 ,  5F063DG34 ,  5F063EE07 ,  5F063EE08 ,  5F063EE21 ,  5F063EE22 ,  5F063EE31 ,  5F063EE42 ,  5F063EE43 ,  5F063EE44 ,  5F063EE73

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