特許
J-GLOBAL ID：201703002831602920

生化学的用途での超低電流測定のためのノイズ遮蔽技術

発明者：
チェン・ロジャー・ジェイ.エイ.

チェン・ロジャー・ジェイ.エイ. について


出願人/特許権者：
ジニア・テクノロジーズ・インコーポレーテッド

ジニア・テクノロジーズ・インコーポレーテッド について


代理人 (1件)： 特許業務法人明成国際特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-556549
特許番号：特許第6141330号
出願日： 2012年12月14日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 一体型ノイズシールドを有するデバイスであって、 第1の導電水平層および第2の導電水平層と、 半導体デバイスを実質的に囲む複数の垂直シールド構造であって、前記半導体デバイスは、生物サンプルを検知するためのナノ細孔半導体デバイスを備え、垂直シールド構造は、前記第1の導電水平層および前記第2の導電水平層を接続する垂直ビアを備える、垂直シールド構造と、 前記半導体デバイスの上方にあり、導電性流体で実質的に満たされた開口部と、 前記第1の導電水平層と、前記第2の導電水平層と、前記垂直シールド構造と、を前記導電性流体から絶縁する酸化物層と、を備え、 前記複数の垂直シールド構造および前記導電性流体は、前記半導体デバイスを周囲放射から遮蔽している、デバイス。
IPC (4件)：
G01N 27/00 ( 200 6.01) ,  G01N 27/30 ( 200 6.01) ,  H01L 23/00 ( 200 6.01) ,  H05K 9/00 ( 200 6.01)
FI (5件)：
G01N 27/00 Z ,  G01N 27/30 A ,  G01N 27/30 Z ,  H01L 23/00 C ,  H05K 9/00 Q
引用特許：
審査官引用 (7件)
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