特許
J-GLOBAL ID：201703002885988793
加速度センサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
鮫島 睦
, 吉田 環
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-258583
公開番号（公開出願番号）：特開2014-106080
特許番号：特許第6070111号
出願日： 2012年11月27日
公開日（公表日）： 2014年06月09日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 基板と、
前記基板から遊離して揺動可能に設けられる錘部と、
前記基板に固定された梁部と、
前記錘部と前記梁部とを連結するバネと、
前記基板に固定される第1固定電極、第2固定電極および第3固定電極と、
前記錘部から延設され前記第1固定電極および前記第2固定電極に対向して設けられる可動電極と、を備え、
前記可動電極は、前記基板の平面方向に平行な第1方向において、前記第1固定電極と前記第2固定電極の間に設けられ、
前記第3固定電極は、前記基板の平面方向に垂直な第2方向において、前記錘部と対向し、
前記バネは、前記基板の平面視、前記基板の平面方向に平行で前記第1方向に直交する第3方向に延びる蛇行した形状であり、
前記バネは、互いになす角度が直角となる短辺と長辺とが交互に繋がり、前記短辺が前記第3方向に沿って設けられ長辺が前記第1方向に沿って設けられるつづら折れ形状に形成され、
前記バネは、前記梁部に固定される固定端と前記錘部に接続される可動端との距離が前記長辺よりも長くなるように構成され、
前記第1固定電極および前記第2固定電極と前記可動電極との距離の変動に応じた静電容量の変化に基づいて、前記第1方向の加速度を検出し、
前記第3固定電極と前記錘部との距離の変動に応じた静電容量の変化に基づいて、前記第2方向の加速度を検出し、
前記可動電極は、前記錘部と接続される固定部を少なくとも2箇所に備えることを特徴とする加速度センサ。
IPC (5件)：
G01P 15/125 ( 200 6.01)
, G01P 15/08 ( 200 6.01)
, G01P 15/18 ( 201 3.01)
, H01L 29/84 ( 200 6.01)
, B81B 3/00 ( 200 6.01)
G01P 15/125 Z
, G01P 15/08 101 C
, G01P 15/08 101 D
, G01P 15/18
, H01L 29/84 Z
, B81B 3/00
