特許

J-GLOBAL ID：201703002887702480

測定プローブ、及び測定プローブシステム

発明者： 日高 和彦 ,  松宮 貞行
出願人/特許権者： 株式会社ミツトヨ
代理人 (5件)： 高矢 諭 ,  松山 圭佑 ,  牧野 剛博 ,  藤田 崇 ,  須藤 修三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-075420
公開番号（公開出願番号）：特開2017-187351
出願日： 2016年04月04日
公開日（公表日）： 2017年10月12日
要約：

【課題】相対的に移動可能とされたワークの側面形状の特定の領域を非接触で高精度に測定することを可能とする測定プローブを提供する。【解決手段】回転可能とされたボールねじ102のねじ溝を測定する測定プローブ124であって、光源128と、ボールねじ102のねじ溝に対応する形状とされ、ボールねじ102のねじ溝に非接触に対峙して配置され、光源128からの光をボールねじ102のねじ溝に照射する対物レンズ136と、ボールねじ102のねじ溝からの反射光と対物レンズ136の表面136Aの反射光とによる干渉縞を検出するラインセンサ140と、を備える。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

相対的に移動可能とされたワークの側面形状を測定する測定プローブであって、 光源と、 前記ワークの側面形状に対応する形状とされ、該ワークの側面に非接触に対峙して配置され、該光源からの光を該ワークの側面に照射する対物レンズと、 該ワークの側面からの反射光と該対物レンズの表面の反射光とによる干渉縞を検出するセンサと、 を備える測定プローブ。

IPC (4件)：

G01B 11/24 ,  G01B 5/00 ,  G01B 5/012 ,  G01B 21/00

FI (4件)：

G01B11/24 D ,  G01B5/00 L ,  G01B5/012 ,  G01B21/00 P

Fターム (29件)：

2F062AA51 ,  2F062BB03 ,  2F062BC66 ,  2F062EE09 ,  2F062FF03 ,  2F062FF17 ,  2F062GG75 ,  2F062MM08 ,  2F062MM12 ,  2F065AA52 ,  2F065BB06 ,  2F065BB16 ,  2F065BB18 ,  2F065FF15 ,  2F065FF16 ,  2F065FF17 ,  2F065FF52 ,  2F065GG07 ,  2F065HH03 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ25 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL00 ,  2F065LL08 ,  2F065LL42 ,  2F065PP02 ,  2F065PP13 ,  2F069AA66