特許
J-GLOBAL ID：201703003002555457
磁気抵抗歯車センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (5件)：
平木 祐輔
, 関谷 三男
, 渡辺 敏章
, 松丸 秀和
, 頭師 教文
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-515381
特許番号：特許第6189426号
出願日： 2013年06月04日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 磁気センサチップ(181)及び第1永久磁石(182)を含み、
前記磁気センサチップ(181)は、複数のブリッジアームを含む少なくとも1つのセンサブリッジを含み、
該ブリッジの各アームは少なくとも1つのMTJ素子グループ(13,23)を含み、 前記少なくとも1つのMTJ素子グループは複数のMTJ素子グループであり、該複数のMTJ素子グループは直列及び/又は並列に接続されており、
前記MTJ素子グループは、同じ検知方向を有し、前記検出方向は自由層に平行であり、
前記各MTJ素子(11)は多層膜の構造であり、順次に堆積されるピンニング層(114)、ピンド層(115)、トンネルバリア層(116)及び磁性自由層(117)を含み、
前記磁気抵抗ギア歯車センサは、前記磁気センサチップ(181)と前記第1永久磁石(182)との間に配置される凹形状の軟磁性体(184)を更に含み、且つ、前記軟磁性体(184)の開口は前記磁気センサチップ(181)に向けており、
前記センサチップは、フルブリッジ(16)、ハーフブリッジ(15)又はダブルフルブリッジ(17)を有し、
前記磁気抵抗ギア歯車センサは、さらに、第1の永久磁石とセンサチップとの間に配置され、
前記磁気抵抗ギア歯車センサは、さらに、外部ハウジング構造を有し、
前記各MTJ素子グループ(13)の両側には一対の第2永久磁石(14)が設けられ、前記MTJ素子グループ(13)のネールカップリング磁場を取り消すため、各対の第2永久磁石(14)は対応するMTJ素子グループ(13)の検知方向に対して傾斜して配置されており、
前記第2永久磁石(14)の縁部の磁荷によって生じる磁界Hmagにおける第1MTJ素子グループ(13)の検知方向(1171)に沿う分量Hoffは、以下の式で表される磁気抵抗歯車センサ。
ここで、磁界Hmagは、2つの永久磁石(14)の隙間位置の磁界であり、θmagは、永久磁石14の残留磁気Mr141の傾斜角である。
IPC (3件)：
G01D 5/245 ( 200 6.01)
, H01L 43/08 ( 200 6.01)
, G01R 33/09 ( 200 6.01)
G01D 5/245 110 B
, H01L 43/08 Z
, G01R 33/06 R
, G01D 5/245 110 K
, G01D 5/245 N
