特許

J-GLOBAL ID：201703003096687572

オイルレス圧力センサ

発明者： 東條 博史 ,  石倉 義之
出願人/特許権者： アズビル株式会社
代理人 (2件)： 山川 茂樹 ,  山川 政樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-056650
公開番号（公開出願番号）：特開2017-173021
出願日： 2016年03月22日
公開日（公表日）： 2017年09月28日
要約：

【課題】感度を下げることなく、残留歪みを小さくし、かつ信号取り出し線の切断のリスクを低減する。耐食性に優れたものとする。【解決手段】センサチップ101を第1の半導体基板1と第2の半導体基板2とで構成する。第1の半導体基板1の一方の面(上側の面(裏面))1aに歪ゲージ1cを形成し、他方の面(下側の面(表面))1bを耐食性の保護膜3で覆う。この保護膜3を接液部として露出させた状態でセンサチップ101をパッケージ102に収容する。保護膜3の露出面(受圧面101a)はパッケージ102の露出面102aと面一とする。保護膜3の露出面(受圧面101a)とパッケージ102の露出面102aとの間の周囲の隙間hに充填材103を埋め込む。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

一方の面に圧力検出部が形成された第1の半導体基板と、前記第1の半導体基板の一方の面に接合され前記圧力検出部が形成されている領域に対向する位置に空洞を形成する凹部を有する第2の半導体基板と、前記第1の半導体基板の他方の面を覆う耐食性の保護膜とを備えたセンサチップと、 前記保護膜を接液部として露出させた状態で前記センサチップを収容するパッケージとを備え、 前記保護膜の露出面は、 前記パッケージの露出面と面一とされている ことを特徴とするオイルレス圧力センサ。

IPC (4件)：

G01L 9/00 ,  G01L 7/08 ,  G01L 19/06 ,  H01L 29/84

FI (5件)：

G01L9/00 303A ,  G01L7/08 ,  G01L19/06 A ,  H01L29/84 B ,  H01L29/84 A

Fターム (23件)：

2F055AA39 ,  2F055BB20 ,  2F055CC02 ,  2F055DD05 ,  2F055EE14 ,  2F055FF38 ,  2F055GG13 ,  2F055GG15 ,  4M112AA01 ,  4M112BA01 ,  4M112CA01 ,  4M112CA03 ,  4M112CA09 ,  4M112CA13 ,  4M112CA14 ,  4M112DA05 ,  4M112DA18 ,  4M112EA03 ,  4M112EA06 ,  4M112EA11 ,  4M112FA01 ,  4M112FA20 ,  4M112GA01