特許

J-GLOBAL ID：201703003226145416

ウェハ研磨装置

発明者： 永井 大智
出願人/特許権者： 株式会社東京精密
代理人 (2件)： 林 孝吉 ,  清水 貴光
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-035573
公開番号（公開出願番号）：特開2017-152615
出願日： 2016年02月26日
公開日（公表日）： 2017年08月31日
要約：

【課題】所望の圧力分布でウェハを精度良く研磨するウェハ研磨装置を提供する。【解決手段】研磨ヘッドは、ゾーンエアーライン22が形成されたキャリア20と、キャリア20との間にエア空間を形成し、圧縮空気の圧力に応じて下方に膨張可能な第1の弾性シート30と、リム32を嵌合してエア空間を複数のエア室に区画する溝と、ゾーンエアーライン22とエア室とを連通する複数の連通孔とを備えたレイアウト部材40と、圧縮空気が導入されたエア室の内外で圧力勾配を形成するラビリンス構造とを備えている。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

研磨ヘッドに装着されたウェハを圧縮空気によって研磨パッドに押圧して前記ウェハを研磨するウェハ研磨装置であって、 前記研磨ヘッドは、 前記圧縮空気を導入する圧縮空気供給ラインが形成されたベース部材と、 上面に立設されたリムを備え、前記ベース部材の下方に張設されて前記ベース部材との間にエア空間を形成し、前記圧縮空気の圧力に応じて下方に膨張可能な弾性シートと、 前記リムを嵌合して前記エア空間を複数のエア室に区画する溝と、前記圧縮空気供給ラインと前記エア室とを連通する複数の連通孔と、を備え、前記ベース部材と前記弾性シートとの間に介装されたレイアウト部材と、 前記圧縮空気供給ラインから供給される圧縮空気を所望の前記連通孔に導入させる規制部材と、 前記圧縮空気が導入された前記エア室の内外で圧力勾配を形成する圧力勾配形成手段と、 を備えていることを特徴とするウェハ研磨装置。

IPC (2件)：

H01L 21/304 ,  B24B 37/005

FI (2件)：

H01L21/304 622K ,  B24B37/00 B

Fターム (16件)：

3C158AA07 ,  3C158AB06 ,  3C158AC00 ,  3C158CA01 ,  3C158CB01 ,  3C158DA12 ,  3C158DA17 ,  3C158EA11 ,  3C158EA13 ,  3C158EB01 ,  5F057AA03 ,  5F057BA11 ,  5F057CA12 ,  5F057DA03 ,  5F057FA13 ,  5F057FA19