特許
J-GLOBAL ID：201703003343316000
ターゲットアセンブリ及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
大森 純一
, 折居 章
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-131545
公開番号（公開出願番号）：特開2015-004116
特許番号：特許第6110224号
出願日： 2013年06月24日
公開日（公表日）： 2015年01月08日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 支持面を有するバッキングプレートと、
前記支持面に接合される第1の主面と、前記第1の主面とは反対側の第2の主面とをそれぞれ有し、相互に第1の幅の隙間をあけて前記バッキングプレート上に配列された複数のターゲット部材と、
前記第1の主面に貼着される粘着面を有し、前記隙間を遮蔽する遮蔽部材と、
前記支持面と、前記遮蔽部材が貼着された前記第1の主面とを相互に接合する接合材と
を具備し、
前記遮蔽部材は、
前記第1の幅よりも大きい第2の幅の粘着面を有し、前記粘着面介して前記第1の主面に貼着される第1の遮蔽層と、
前記第1の幅よりも大きく前記第2の幅よりも小さい第3の幅で形成され、前記粘着面上に配置され、前記隙間に対向する第2の遮蔽層と、を有し、
前記第1の遮蔽層は、金属材料で構成され、
前記第2の遮蔽層は、前記複数のターゲット部材を構成する材料で構成される
ターゲットアセンブリ。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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