特許
J-GLOBAL ID：201703003372592670
電子分光装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
布施 行夫
, 大渕 美千栄
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-169072
公開番号（公開出願番号）：特開2015-036670
特許番号：特許第6104756号
出願日： 2013年08月16日
公開日（公表日）： 2015年02月23日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 試料から放出される電子を取り込む電子取込部と、
前記電子取込部で取り込まれた電子をエネルギー選別するエネルギー分光部と、
前記エネルギー分光部で選別された電子を検出する検出部と、
を含み、
前記電子取込部は、
試料から放出される電子を取り込む前段レンズと、
前記前段レンズの後方に配置されたアパーチャーと、
前記アパーチャーの後方に配置された第1後段レンズと、
前記第1後段レンズの後方に配置され、電子を偏向させる後段偏向素子と、
前記後段偏向素子の後方に配置された第2後段レンズと、
前記第2後段レンズの後方に配置された入射スリットと、
を有し、
前記第1後段レンズおよび前記第2後段レンズは、前記入射スリット上に回折面を形成し、
前記後段偏向素子は、前記第1後段レンズと前記第2後段レンズとの合成レンズの主面よりも後方に配置されている、電子分光装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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