特許
J-GLOBAL ID：201703003579582798
ガラス基板の搬送方法、ガラス基板搬送装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
グローバル・アイピー東京特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-073675
公開番号（公開出願番号）：特開2017-186098
出願日： 2016年03月31日
公開日（公表日）： 2017年10月12日
要約：
【課題】搬送中のガラス基板の撓みを抑制しつつ、ガラス基板の表面に付着した異物を除去することのできるガラス基板の搬送方法を提供する。【解決手段】ガラス基板の搬送方法は、ガラス基板を浮上させるステップと、浮上させたガラス基板を搬送方向に沿って搬送するステップと、ガラス基板の主表面上を、第1の端部の側から第2の端部の側に気体が流れるよう、第1の端部の側において、搬送されるガラス基板よりも上方の位置から主表面に向けて気体を吹き出し、第2の端部の側に流れた気体を吸い込むステップと、を備える。浮上させるステップでは、ガラス基板が略水平な姿勢で搬送されるよう、第1の端部を浮上させる第1の浮上力と、第2の端部を浮上させる第2の浮上力と、を調節する。第1の浮上力は、ガラス基板の第1の端部が気体から板厚方向に受ける押付圧と略同等の基準圧力に基づいて調節される。【選択図】図6
請求項（抜粋）：
ガラス基板に流体を吹き付けて前記ガラス基板に浮上力を与えることで、前記ガラス基板の浮上状態を維持するステップと、
前記浮上状態を維持しつつ前記ガラス基板を一方向に搬送するステップと、
前記ガラス基板の主表面上を前記一方向に沿った方向または前記一方向と交差する方向に気体が流れるよう、前記一方向に沿った方向または前記一方向と交差する方向のうちの第1の側において、前記浮上力が与えられるガラス基板の主表面と反対側の主表面の側で前記気体を吹き出し、前記第1の側と反対側の第2の側に流れた前記気体を吸い込むステップと、を備え、
前記浮上状態を維持するステップでは、前記ガラス基板が略水平な姿勢で搬送されるよう、前記浮上力のうち、前記第1の側に位置する前記ガラス基板の第1の領域の部分を浮上させる第1の浮上力と、前記第2の側に位置する前記ガラス基板の第2の領域の部分を浮上させる第2の浮上力と、を調節し、
前記ガラス基板の第1の領域の部分が前記気体から板厚方向に受ける押付圧と略同等の基準圧力に基づいて、前記押付圧を受ける前記第1領域の部分に与える第1の浮上力を調節することを特徴とするガラス基板の搬送方法。
IPC (3件)：
B65G 51/03
, B65G 49/06
, H01L 21/677
B65G51/03 E
, B65G49/06 Z
, H01L21/68 A
5F131AA03
, 5F131AA32
, 5F131CA07
, 5F131CA12
, 5F131DA42
, 5F131DC15
