研磨材分離方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人光陽国際特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-551618
特許番号：特許第6044551号
出願日： 2012年12月17日
請求項（抜粋）：

【請求項1】酸化セリウムを含有する使用済みの研磨材スラリーから、酸化セリウム研磨材を分離する研磨材分離方法であって、該使用済みの研磨材スラリーを10〜70°Cの範囲内で温度制御しながら、2価のアルカリ土類金属塩を添加して母液を調製し、該母液の25°C換算のpH値が、10.0未満である条件下で、研磨材粒子を被研磨成分から分離して凝集及び沈殿させ、該研磨材粒子を母液より分離することを特徴とする研磨材分離方法。

IPC (3件)：