特許
J-GLOBAL ID：201703003657533731

EUV光源内でターゲット材料の液滴を制御するためのシステム及び方法

発明者：
セネケリミャン,バハン

セネケリミャン,バハン について

, 
ウェーレンス,マルティン

ウェーレンス,マルティン について


出願人/特許権者：
エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ.

エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. について


代理人 (2件)： 稲葉 良幸 ,  大貫 敏史
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-545748
公開番号（公開出願番号）：特表2016-538703
出願日： 2014年09月09日
公開日（公表日）： 2016年12月08日
要約：
【課題】 レーザ生成プラズマ(LPP)極端紫外(EUV)光システム内で1つのレーザソースから二重のカーテンを生成及び使用し、液滴放出及び/又は照射を制御する方法及び装置を開示する。【解決手段】 1つ以上のセンサを備える第1組のセンサは、1つ以上のカーテンを通過する時のターゲット材料の液滴を検出し、液滴発生器の向きの調整を可能にして、後続の液滴をより正確に照射部位へ誘導する。1つ以上のセンサを備える第2組のセンサは、1つ以上のカーテンを通過する時の液滴を検出し、パルスが液滴と同時に照射部位に到達するように、ソースレーザがいつパルスを生成すべきかを決定する。【選択図】 図4A
請求項（抜粋）：
液滴を推定速度で放出する液滴発生器を有する極端紫外線レーザ生成プラズマ(EUV LPP)光源内で、照射部位にパルスを発射するソースレーザの発射タイミングを調整するためのシステムであって、 直交偏光を有し、前記液滴発生器と前記照射部位の間にそれぞれ位置する、第1のレーザカーテン及び第2のレーザカーテンを生成する1つのラインレーザを備える液滴照明モジュールと、 前記液滴が前記第1のレーザカーテンを通過する時のフラッシュを検出する第1のセンサを備える液滴検出モジュールと、 前記第1のセンサによって検出された前記フラッシュ、前記第1のカーテンから前記照射部位までの既知の距離、及び前記液滴の前記推定速度に基づいて、前記液滴が前記照射部位に到達する時に前記液滴を照射するように、前記ソースレーザがパルスを発射すべき時間を決定し、前記ソースレーザに前記決定された時間に発射するように指示するタイミング信号を生成する第1のコントローラと、 前記液滴が前記第2のレーザカーテンを通過する時のフラッシュを検出する第2のセンサと、 前記第2のセンサによって検出された前記フラッシュに基づいて、前記液滴が前記照射部位に至る所望の軌道上にないことを判断し、前記液滴発生器が後続の液滴を放出する方向の調整であって、前記後続の液滴を前記所望の軌道上に配置する調整を示す信号を供給する第2のコントローラと、 を備える、システム。
IPC (3件)：
H05G 2/00 ,  G03F 7/20 ,  H05H 1/24
FI (4件)：
H05G2/00 K ,  G03F7/20 503 ,  G03F7/20 521 ,  H05H1/24
Fターム (20件)：
2G084AA11 ,  2G084CC27 ,  2G084CC35 ,  2G084FF04 ,  2H197BA04 ,  2H197BA07 ,  2H197BA09 ,  2H197CA10 ,  2H197DC02 ,  2H197DC11 ,  2H197GA01 ,  2H197GA04 ,  2H197GA05 ,  2H197GA24 ,  2H197HA03 ,  4C092AA06 ,  4C092AA15 ,  4C092AB15 ,  4C092AC09 ,  4C092BD18
引用特許：
審査官引用 (4件)
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