特許

J-GLOBAL ID：201703003766171912

シート処理装置および処理方法

発明者： 杉下 芳昭
出願人/特許権者： リンテック株式会社
代理人 (2件)： 杉浦 正知 ,  杉浦 拓真
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-048614
公開番号（公開出願番号）：特開2017-163090
出願日： 2016年03月11日
公開日（公表日）： 2017年09月14日
要約：

【課題】装置の小型化ができるシート処理装置および処理方法を提供すること。【解決手段】シート処理装置10は、第2接着シートAS2を供給する供給手段20と、供給手段20と被着体WFとを相対移動させる搬送手段30と、搬送手段30によってシート貼付方向へ相対移動される被着体WFの他方の面に、供給手段20で供給される第2接着シートAS2を貼付する貼付手段40と、被着体WFに貼付された第1接着シートAS1を保持して剥離する剥離手段50とを備え、搬送手段30は、シート貼付方向の逆方向であるシート剥離方向へ剥離手段50と被着体WFとを相対移動可能に設けられ、剥離手段50は、搬送手段30によってシート剥離方向へ相対移動される被着体WFに貼付された第1接着シートAS1を保持し、当該第1接着シートAS1を被着体WFから剥離する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

被着体の一方の面に第1接着シートが貼付された当該被着体の他方の面に第2接着シートを貼付するとともに、前記被着体から前記第1接着シートを剥離するシート処理装置において、 前記第2接着シートを供給する供給手段と、 前記供給手段と被着体とを相対移動させる搬送手段と、 前記搬送手段によってシート貼付方向へ相対移動される前記被着体の他方の面に、前記供給手段で供給される前記第2接着シートを貼付する貼付手段と、 前記被着体に貼付された第1接着シートを保持して剥離する剥離手段とを備え、 前記搬送手段は、前記シート貼付方向の逆方向であるシート剥離方向へ前記剥離手段と被着体とを相対移動可能に設けられ、 前記剥離手段は、前記搬送手段によって前記シート剥離方向へ相対移動される前記被着体に貼付された第1接着シートを保持し、当該第1接着シートを前記被着体から剥離することを特徴とするシート処理装置。

IPC (1件)：

H01L 21/683

FI (1件)：

H01L21/68 N

Fターム (36件)：

5F131AA02 ,  5F131AA03 ,  5F131AA23 ,  5F131BA53 ,  5F131CA38 ,  5F131EA07 ,  5F131EA14 ,  5F131EA22 ,  5F131EB02 ,  5F131EB04 ,  5F131EB11 ,  5F131EB31 ,  5F131EB42 ,  5F131EB46 ,  5F131EC33 ,  5F131EC34 ,  5F131EC35 ,  5F131EC37 ,  5F131EC44 ,  5F131EC55 ,  5F131EC62 ,  5F131EC63 ,  5F131EC64 ,  5F131EC68 ,  5F131EC72 ,  5F131EC73 ,  5F131EC76 ,  5F131EC77 ,  5F131FA10 ,  5F131FA14 ,  5F131FA32 ,  5F131KA10 ,  5F131KA12 ,  5F131KA14 ,  5F131KB05 ,  5F131KB32