特許

J-GLOBAL ID：201703003876964128

気相の前駆体を用いて有機金属構造体薄膜を製造する方法

発明者： イヴォ・シュタッセン ,  ロブ・アメロート ,  ディルク・デ・フォス ,  フィリップ・エム・フェレーケン
出願人/特許権者： アイメック・ヴェーゼットウェー ,  カトリーケ・ユニフェルシテイト・ルーヴァン
代理人 (3件)： 山田 卓二 ,  田中 光雄 ,  中野 晴夫
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-558630
公開番号（公開出願番号）：特表2017-519896
出願日： 2015年04月29日
公開日（公表日）： 2017年07月20日
要約：

基板の上に有機金属構造体(MOF)膜を製造する方法を開示している。この方法は、主面を有する基板を準備する工程と、有機金属化合物前駆体と少なくとも1つの有機リガンドを用いて、基板の主面の上にMOF膜を形成する工程とを含み、有機金属化合物前駆体と少なくとも1つの有機リガンドは、それぞれ、気相で供給される。

請求項（抜粋）：

基板(610)の上に有機金属構造体(MOF)膜(620)を製造する方法であって、 主面(630)を有する基板(610)を準備する工程と、 有機金属化合物を構成するように選択された有機金属化合物前駆体と、少なくとも1つの有機リガンドとを用いて、前記主面の上にMOF膜(620)を形成する工程とを含み、 前記有機金属化合物前駆体と前記少なくとも1つの有機リガンドは、それぞれ気相で提供する、 方法。

IPC (2件)：

C23C 16/455 ,  H01L 21/312

FI (2件)：

C23C16/455 ,  H01L21/312 A

Fターム (14件)：

4K030AA11 ,  4K030BA47 ,  4K030BA61 ,  4K030BB13 ,  4K030CA04 ,  4K030CA12 ,  4K030FA01 ,  4K030FA10 ,  4K030HA01 ,  4K030JA01 ,  5F058AC10 ,  5F058AD01 ,  5F058AD09 ,  5F058AF01

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 光触媒前駆体溶液、光触媒及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-213392   出願人：工業技術院長
• 金属有機フレームワークを含む成形体
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2004-509691   出願人：ビーエーエスエフアクチェンゲゼルシャフト, ザリージェンツオブザユニバーシティオブミシガン