特許

J-GLOBAL ID：201703003878127436

レーザ装置及び極端紫外光生成装置

発明者： 菅沼 崇 ,  鈴木 徹 ,  藤巻 貴久 ,  黒澤 義明
出願人/特許権者： ギガフォトン株式会社
代理人 (1件)： 特許業務法人つばさ国際特許事務所
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2013084695
公開番号（公開出願番号）：WO2014-119198
出願日： 2013年12月25日
公開日（公表日）： 2014年08月07日
要約：

パルスレーザ光を出射するマスターオシレータと、前記パルスレーザ光の光路上に配置された前記パルスレーザ光を増幅する増幅器と、前記パルスレーザ光の光路上における前記マスターオシレータと前記増幅器との間に配置され、前記パルスレーザ光を透過し、前記パルスレーザ光の波長を除く波長の光の透過を抑制する波長フィルタと、を備えてもよい。

請求項（抜粋）：

パルスレーザ光を出射するマスターオシレータと、 前記パルスレーザ光の光路上に配置された前記パルスレーザ光を増幅する増幅器と、 前記パルスレーザ光の光路上における前記マスターオシレータと前記増幅器との間に配置され、前記パルスレーザ光を透過し、前記パルスレーザ光の波長を除く波長の光の透過を抑制する波長フィルタと、 を備えるレーザ装置。

IPC (4件)：

H01S 3/10 ,  H01S 3/00 ,  H01S 3/23 ,  G03F 7/20

FI (5件)：

H01S3/10 D ,  H01S3/00 A ,  H01S3/23 ,  G03F7/20 503 ,  G03F7/20 521

Fターム (15件)：

2H197CA10 ,  2H197CA12 ,  2H197CA17 ,  2H197GA01 ,  2H197GA05 ,  2H197GA24 ,  2H197HA03 ,  5F172AD05 ,  5F172DD03 ,  5F172EE22 ,  5F172NR03 ,  5F172NR13 ,  5F172NR14 ,  5F172NR28 ,  5F172ZZ14