特許
J-GLOBAL ID：201703003940633548
光学系、および面形状測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
永井 冬紀
, 渡辺 隆男
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-287824
公開番号（公開出願番号）：特開2014-130073
特許番号：特許第6131596号
出願日： 2012年12月28日
公開日（公表日）： 2014年07月10日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 被検面で反射された測定光と参照面で反射された参照光とが干渉することで形成される干渉縞に基づいて前記被検面の形状を測定する面形状測定装置に用いられ、測定光を、所定の形状を有する波面に変換して前記被検面へ導く光学系であって、
前記被検面から遠い順に、第1レンズと、正の屈折力を有する第2レンズと、正の屈折力を有する第3レンズと、からなり、
前記第1レンズは、前記被検面の反対側に凸形状のメニスカスレンズであり、
前記第1レンズは、負の屈折力を有する光学系。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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